DESCRIPTION DU PRODUIT

Avantage de l'équipement

1. Optimisation du revêtement des trous profonds

Technologie exclusive de revêtement pour trous profonds : la technologie de revêtement pour trous profonds développée par Zhenhua Vacuum permet d’atteindre un rapport d’aspect supérieur de 10:1 même pour de minuscules ouvertures aussi petites que 30 micromètres, surmontant ainsi les défis de revêtement des structures complexes de trous profonds.

2. Personnalisable, compatible avec différentes tailles

Prend en charge les substrats en verre de différentes tailles, y compris les spécifications 600×600 mm / 510×515 mm ou plus grandes.

3. Flexibilité du processus, compatible avec de multiples matériaux

Cet équipement est compatible avec des matériaux en couches minces conducteurs ou fonctionnels tels que le Cu, le Ti, le W, le Ni et le Pt, répondant ainsi à différents besoins d'application en matière de conductivité et de résistance à la corrosion.

4. Performances stables des équipements, entretien facile

L'équipement est doté d'un système de contrôle intelligent qui permet un réglage automatique des paramètres et une surveillance en temps réel de l'uniformité de l'épaisseur du film ; il adopte une conception modulaire pour faciliter la maintenance et réduire les temps d'arrêt.

Application:Peut être utilisé pour l'encapsulation avancée TGV/TSV/TMV, capable de réaliser un revêtement de couche d'amorçage de trou profond avec un rapport d'aspect ≥10:1.