Revestimento de vidro TGV para furos passantes em linha
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DESCRIÇÃO DO PRODUTO
Vantagem do equipamento
1. Otimização do Revestimento de Furos Profundos
Tecnologia exclusiva de revestimento de orifícios profundos: A tecnologia de revestimento de orifícios profundos desenvolvida pela Zhenhua Vacuum permite alcançar uma relação de aspecto superior de 10:1, mesmo para aberturas minúsculas de apenas 30 micrômetros, superando os desafios de revestimento de estruturas complexas de orifícios profundos.
2. Personalizável, suporta diferentes tamanhos
Suporta substratos de vidro de vários tamanhos, incluindo especificações de 600×600mm / 510×515mm ou maiores.
3. Flexibilidade de processo, compatível com múltiplos materiais
O equipamento é compatível com materiais de película fina condutores ou funcionais, como Cu, Ti, W, Ni e Pt, atendendo a diferentes necessidades de aplicação em termos de condutividade e resistência à corrosão.
4. Desempenho estável do equipamento, fácil manutenção
O equipamento possui um sistema de controle inteligente que permite o ajuste automático de parâmetros e o monitoramento em tempo real da uniformidade da espessura do filme; adota um design modular para facilitar a manutenção e reduzir o tempo de inatividade.
Aplicativo:Pode ser utilizado para embalagens avançadas TGV/TSV/TMV, capazes de obter revestimento de camada de semente com orifícios profundos e uma relação de aspecto ≥10:1.
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