ОПИСАНИЕ ПРОДУКТА

Преимущество оборудования

1. Оптимизация покрытия глубоких отверстий

Эксклюзивная технология нанесения покрытия на глубокие отверстия: разработанная компанией Zhenhua Vacuum технология нанесения покрытия на глубокие отверстия позволяет достичь превосходного соотношения сторон 10:1 даже для крошечных отверстий размером всего 30 микрометров, преодолевая сложности нанесения покрытия на сложные структуры с глубокими отверстиями.

2. Возможность индивидуальной настройки, поддержка различных размеров.

Поддерживает стеклянные подложки различных размеров, включая размеры 600×600 мм / 510×515 мм и более.

3. Гибкость процесса, совместимость с различными материалами.

Оборудование совместимо с проводящими или функциональными тонкопленочными материалами, такими как Cu, Ti, W, Ni и Pt, что позволяет удовлетворить различные потребности в области проводимости и коррозионной стойкости.

4. Стабильная работа оборудования, простота обслуживания.

Оборудование оснащено интеллектуальной системой управления, обеспечивающей автоматическую настройку параметров и мониторинг равномерности толщины пленки в режиме реального времени; модульная конструкция упрощает техническое обслуживание и сокращает время простоя.

Приложение:Может использоваться для усовершенствованной упаковки TGV/TSV/TMV, обеспечивая нанесение глубокого слоя-затравки с соотношением сторон ≥10:1.