उपकरण लाभ
1. गहरे छेद की कोटिंग का अनुकूलन
विशेष डीप होल कोटिंग तकनीक: जेनहुआ वैक्यूम की स्व-विकसित डीप होल कोटिंग तकनीक 30 माइक्रोमीटर जितने छोटे छिद्रों के लिए भी 10:1 का बेहतर पहलू अनुपात प्राप्त कर सकती है, जिससे जटिल डीप होल संरचनाओं की कोटिंग चुनौतियों पर काबू पाया जा सकता है।
2. अनुकूलन योग्य, विभिन्न आकारों का समर्थन करता है
यह 600×600 मिमी / 510×515 मिमी या इससे बड़े आकार सहित विभिन्न आकारों के ग्लास सब्सट्रेट को सपोर्ट करता है।
3. प्रक्रिया में लचीलापन, अनेक सामग्रियों के साथ संगत
यह उपकरण Cu, Ti, W, Ni और Pt जैसी चालक या कार्यात्मक पतली फिल्म सामग्री के साथ संगत है, जो चालकता और संक्षारण प्रतिरोध के लिए विभिन्न अनुप्रयोग आवश्यकताओं को पूरा करता है।
4. स्थिर उपकरण प्रदर्शन, आसान रखरखाव
इस उपकरण में एक बुद्धिमान नियंत्रण प्रणाली लगी है जो स्वचालित पैरामीटर समायोजन और फिल्म की मोटाई की एकरूपता की वास्तविक समय में निगरानी करने में सक्षम बनाती है; आसान रखरखाव के लिए इसमें मॉड्यूलर डिजाइन का उपयोग किया गया है, जिससे डाउनटाइम कम होता है।
आवेदन पत्र:इसका उपयोग TGV/TSV/TMV उन्नत पैकेजिंग के लिए किया जा सकता है, जो ≥10:1 के पहलू अनुपात के साथ गहरे छेद वाली सीड लेयर कोटिंग प्राप्त करने में सक्षम है।