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ITO / ISI 横型連続コーティング生産ライン
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製品説明
ITO / ISI水平連続コーティング生産ラインは、将来の拡張とアップグレードを容易にするモジュール設計を採用した大型平面マグネトロンスパッタリング連続生産装置です。大型マグネトロンカソードを複数群搭載しており、複数の膜構造の組み合わせに適用可能です。マニピュレータとシームレスに接続できる全自動制御・高安定伝達システムにより、組立ラインの連続安定稼働を実現します。速い生産ペースと大きな生産能力。
このコーティングラインは、ITO、AZO、TCOなどの透明導電膜や、Ti、Ag、Cu、Al、Cr、Niなどの単体金属のめっきに適しています。主にスマートホームパネル、ディスプレイスクリーン、タッチスクリーン、車両ガラス、太陽光発電パネルなどの製品に使用されます。
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