ПРОДУКЦИЯНЫН СЫПАТТАМАСЫ

Жабдуулардын артыкчылыгы

1. Терең тешиктерди каптоону оптималдаштыруу

Терең тешиктерди каптоонун эксклюзивдүү технологиясы: Zhenhua Vacuum компаниясынын өз алдынча иштеп чыккан терең тешиктерди каптоо технологиясы 30 микрометр сыяктуу кичинекей тешиктер үчүн да 10:1 жогорку деңгээлдеги катышка жетишип, татаал терең тешиктүү конструкциялардын каптоо кыйынчылыктарын жеңе алат.

2. Ыңгайлаштырылуучу, ар кандай өлчөмдөрдү колдойт

600 × 600 мм / 510 × 515 мм же андан чоңураак мүнөздөмөлөрүн кошо алганда, ар кандай өлчөмдөгү айнек субстраттарды колдойт.

3. Процесстин ийкемдүүлүгү, бир нече материалдар менен шайкеш келет

Жабдуулар Cu, Ti, W, Ni жана Pt сыяктуу өткөргүч же функционалдык жука пленкалуу материалдар менен шайкеш келет, бул өткөргүчтүк жана коррозияга туруктуулук боюнча ар кандай колдонуу муктаждыктарын канааттандырат.

4. Жабдуулардын туруктуу иштеши, оңой тейлөө

Жабдуулар автоматтык түрдө параметрлерди тууралоого жана пленканын калыңдыгынын бирдейлигин реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөөгө мүмкүндүк берген акылдуу башкаруу системасы менен жабдылган; ал оңой тейлөө үчүн модулдук дизайнды кабыл алат, бул иштебей калуу убактысын кыскартат.

Колдонмо:TGV/TSV/TMV өркүндөтүлгөн таңгактоо үчүн колдонулушу мүмкүн, ≥10:1 катышы менен терең тешиктүү үрөн катмарын каптоого жетише алат.