ОПИСАНИЕ НА ПРОДУКТА

Предимство на оборудването

1. Оптимизация на покритието на дълбоки отвори

Ексклузивна технология за покритие на дълбоки отвори: Самостоятелно разработената технология за покритие на дълбоки отвори на Zhenhua Vacuum може да постигне превъзходно съотношение на страните от 10:1 дори за малки отвори с размер до 30 микрометра, преодолявайки предизвикателствата при покритието на сложни структури с дълбоки отвори.

2. Персонализируем, поддържа различни размери

Поддържа стъклени основи с различни размери, включително 600×600 мм / 510×515 мм или по-големи спецификации.

3. Гъвкавост на процеса, съвместима с множество материали

Оборудването е съвместимо с проводими или функционални тънкослойни материали като Cu, Ti, W, Ni и Pt, отговаряйки на различните нужди на приложенията за проводимост и устойчивост на корозия.

4. Стабилна производителност на оборудването, лесна поддръжка

Оборудването е оборудвано с интелигентна система за управление, която позволява автоматично регулиране на параметрите и наблюдение в реално време на равномерността на дебелината на филма; то е с модулен дизайн за лесна поддръжка, намалявайки времето за престой.

Приложение:Може да се използва за усъвършенствано опаковане на TGV/TSV/TMV, способно да постигне покритие на дълбоки отвори със съотношение на страните ≥10:1.