コーティングラインは垂直モジュール構造設計を採用し、複数のアクセスドアを備えているため、キャビティの独立した設置とメンテナンス、組み立て、および将来のアップグレードが容易です。ワークピースの汚染を防ぐため、完全密閉型の精製材料ラック搬送システムを装備しています。ワークピースは片面または両面にコーティングでき、主にEMIフィルム、保護フィルム、および金属フィルムの成膜に使用されます。特殊なキャビティ設計により、特殊形状および平面のワークピースに対応できます。
コーティングラインのコーティングチャンバーは、長時間高真空状態を維持し、不純物ガスを低減することで、高純度かつ良好な屈折率の膜を実現します。全自動のスピードフロー閉ループ制御システムを搭載し、成膜速度を向上させています。プロセスパラメータを追跡し、全工程を監視できるため、製造不良の追跡が容易です。本装置は高度な自動化を実現しており、マニピュレーターと組み合わせることで、前工程と後工程を連携させ、人件費を削減できます。
このコーティングラインは、SiO2、In、Cu、Cr、Ti、SUS、Agなどの単純な金属材料に適しています。主にPC+ABS、ABS、ステンレス鋼板などの製品に使用されます。この装置は、自動車用ランプカップ、自動車用プラスチックトリム、電子製品の筐体などの製品に広く使用されています。