ข้อได้เปรียบของอุปกรณ์
1. การเพิ่มประสิทธิภาพการเคลือบรูลึก
เทคโนโลยีการเคลือบรูลึกเอกสิทธิ์เฉพาะ: เทคโนโลยีการเคลือบรูลึกที่พัฒนาขึ้นเองโดย Zhenhua Vacuum สามารถบรรลุอัตราส่วนความกว้างต่อความลึกที่เหนือกว่าถึง 10:1 แม้แต่สำหรับรูขนาดเล็กเพียง 30 ไมโครเมตร ซึ่งเอาชนะความท้าทายในการเคลือบโครงสร้างรูลึกที่ซับซ้อนได้
2. ปรับแต่งได้ รองรับขนาดต่างๆ ได้
รองรับแผ่นกระจกขนาดต่างๆ รวมถึงขนาด 600×600 มม. / 510×515 มม. หรือขนาดที่ใหญ่กว่านั้น
3. ความยืดหยุ่นของกระบวนการผลิต เข้ากันได้กับวัสดุหลากหลายชนิด
อุปกรณ์นี้สามารถใช้งานร่วมกับวัสดุฟิล์มบางที่มีคุณสมบัตินำไฟฟ้าหรือใช้งานได้หลากหลาย เช่น ทองแดง ไทเทเนียม ทังสเตน นิกเกล และแพลทินัม ซึ่งตอบสนองความต้องการใช้งานที่แตกต่างกันในด้านการนำไฟฟ้าและความต้านทานการกัดกร่อน
4. ประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์เสถียร บำรุงรักษาง่าย
อุปกรณ์นี้มาพร้อมกับระบบควบคุมอัจฉริยะที่ช่วยให้สามารถปรับพารามิเตอร์โดยอัตโนมัติและตรวจสอบความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มแบบเรียลไทม์ นอกจากนี้ยังใช้การออกแบบแบบโมดูลาร์เพื่อให้ง่ายต่อการบำรุงรักษาและลดเวลาหยุดทำงาน
แอปพลิเคชัน:สามารถใช้สำหรับการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง TGV/TSV/TMV ซึ่งสามารถเคลือบชั้นเมล็ดที่มีรูลึกด้วยอัตราส่วนความกว้างต่อความสูง ≥10:1 ได้