Жабдықтың артықшылығы
1. Терең тесіктерді жабуды оңтайландыру
Терең тесіктерді жабудың эксклюзивті технологиясы: Zhenhua Vacuum компаниясының өздігінен әзірлеген терең тесіктерді жабу технологиясы тіпті 30 микрометр сияқты кішкентай тесіктер үшін де 10:1 жоғары арақатынасына қол жеткізе алады, бұл күрделі терең тесіктер құрылымдарының жабу қиындықтарын жеңеді.
2. Теңшелетін, әртүрлі өлшемдерді қолдайды
600 × 600 мм / 510 × 515 мм немесе одан үлкен сипаттамаларды қоса алғанда, әртүрлі өлшемдегі шыны негіздерді қолдайды.
3. Процестің икемділігі, бірнеше материалдармен үйлесімді
Жабдық Cu, Ti, W, Ni және Pt сияқты өткізгіш немесе функционалды жұқа қабықшалы материалдармен үйлесімді, бұл өткізгіштік пен коррозияға төзімділіктің әртүрлі қолдану қажеттіліктерін қанағаттандырады.
4. Жабдықтың тұрақты жұмысы, оңай техникалық қызмет көрсету
Жабдық параметрлерді автоматты түрде реттеуге және пленка қалыңдығының біркелкілігін нақты уақыт режимінде бақылауға мүмкіндік беретін интеллектуалды басқару жүйесімен жабдықталған; ол оңай техникалық қызмет көрсету үшін модульдік дизайнды қолданады, бұл жұмыстың тоқтап қалу уақытын азайтады.
Қолдану:TGV/TSV/TMV озық қаптамасында қолдануға болады, ≥10:1 арақатынасымен терең тесік тұқым қабатын жабуға мүмкіндік береді.