Recubrimiento en línea de orificios pasantes de vidrio TGV
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DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO
Ventaja del equipo
1. Optimización del recubrimiento de agujeros profundos
Tecnología exclusiva de recubrimiento para orificios profundos: La tecnología de recubrimiento para orificios profundos desarrollada por Zhenhua Vacuum permite alcanzar una relación de aspecto superior de 10:1 incluso para aberturas diminutas de tan solo 30 micrómetros, superando así los desafíos de recubrimiento de las estructuras complejas de orificios profundos.
2. Personalizable, admite diferentes tamaños.
Admite sustratos de vidrio de varios tamaños, incluyendo especificaciones de 600×600 mm / 510×515 mm o mayores.
3. Flexibilidad de proceso, compatible con múltiples materiales.
El equipo es compatible con materiales de película delgada conductores o funcionales como Cu, Ti, W, Ni y Pt, satisfaciendo diferentes necesidades de aplicación en cuanto a conductividad y resistencia a la corrosión.
4. Rendimiento estable del equipo, fácil mantenimiento.
El equipo está equipado con un sistema de control inteligente que permite el ajuste automático de parámetros y la monitorización en tiempo real de la uniformidad del espesor de la película; además, adopta un diseño modular para facilitar el mantenimiento, reduciendo así el tiempo de inactividad.
Solicitud:Puede utilizarse para el encapsulado avanzado de TGV/TSV/TMV, capaz de lograr un recubrimiento de capa semilla de orificio profundo con una relación de aspecto ≥10:1.
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