MƏHSUL TƏSVİRİ

Avadanlıq üstünlüyü

1. Dərin Dəlik Örtüklərinin Optimallaşdırılması

Eksklüziv Dərin Dəlik Örtük Texnologiyası: Zhenhua Vacuum-un öz-özünə inkişaf etdirdiyi dərin dəlik örtmə texnologiyası, 30 mikrometr kimi kiçik dəliklər üçün belə 10:1 nisbətində üstün bir aspekt əldə edə bilər və mürəkkəb dərin dəlik strukturlarının örtmə çətinliklərini aradan qaldırır.

2. Özelleştirilebilir, Müxtəlif Ölçüləri Dəstəkləyir

600 × 600 mm / 510 × 515 mm və ya daha böyük spesifikasiyalar da daxil olmaqla müxtəlif ölçülü şüşə substratları dəstəkləyir.

3. Proses Çevikliyi, Birdən Çox Materialla Uyğundur

Avadanlıq, keçiricilik və korroziyaya davamlılıq üçün müxtəlif tətbiq ehtiyaclarını ödəyən Cu, Ti, W, Ni və Pt kimi keçirici və ya funksional nazik təbəqə materialları ilə uyğun gəlir.

4. Sabit avadanlıq performansı, asan texniki xidmət

Avadanlıq avtomatik parametr tənzimləməsinə və film qalınlığının vahidliyinin real vaxt rejimində monitorinqinə imkan verən ağıllı idarəetmə sistemi ilə təchiz olunmuşdur; asan texniki xidmət üçün modul dizayn qəbul edir və bu da boş dayanma vaxtını azaldır.

Tətbiq:TGV/TSV/TMV qabaqcıl qablaşdırma üçün istifadə edilə bilər, aspekt nisbəti ≥10:1 olan dərin dəlikli toxum təbəqəsi örtüyünə nail olmağa qadirdir.