Enjamlaryň artykmaçlygy
1. Çuňňur deşik örtügini optimizirlemek
Eksklýuziw Çuň Deşikli Örtük Tehnologiýasy: Zhenhua Vacuum-yň öz-özünden işläp düzen çuň deşikli örtük tehnologiýasy, 30 mikrometr ýaly kiçijik deşikler üçin hem 10:1 deň derejede ýokary derejeli tarap gatnaşygyna ýetip, çylşyrymly çuň deşikli gurluşlaryň örtmek kynçylyklaryny ýeňip geçýär.
2. Özleşdirip bolýar, dürli ölçegleri goldaýar
600 × 600 mm / 510 × 515 mm ýa-da ondan uly ölçeglerdäki aýna substratlaryny goldaýar.
3. Prosesiň çeýeligi, köp materiallar bilen utgaşykly
Enjamlar Cu, Ti, W, Ni we Pt ýaly geçiriji ýa-da funksional inçe plýonka materiallary bilen utgaşykly bolup, geçirijilik we korroziýa garşylygy üçin dürli ulanylyş zerurlyklaryny kanagatlandyrýar.
4. Enjamlaryň durnukly işlemegi, aňsat tehniki hyzmat
Enjam awtomatiki parametrleri sazlamaga we plýonkanyň galyňlygynyň birmeňzeşliginiň real wagt režiminde gözegçilik etmäge mümkinçilik berýän akylly dolandyryş ulgamy bilen üpjün edilen; ol aňsat tehniki hyzmat üçin modul dizaýny ulanýar we iş wagtynyň azalmagyna getirýär.
Ulanyş:TGV/TSV/TMV ösen gaplama üçin ulanylyp bilner, ≥10:1 aspekt gatnaşygy bilen çuň deşikli tohum gatlagyny örtmäge ukyply.