उपकरणांचा फायदा
१. खोल छिद्रांच्या कोटिंगचे इष्टतमीकरण
अनन्य खोल छिद्र कोटिंग तंत्रज्ञान: झेनहुआ व्हॅक्यूमचे स्व-विकसित खोल छिद्र कोटिंग तंत्रज्ञान 30 मायक्रोमीटर इतक्या लहान छिद्रांसाठी देखील 10:1 चे उत्कृष्ट गुणोत्तर साध्य करू शकते, ज्यामुळे जटिल खोल छिद्र संरचनांच्या कोटिंगमधील आव्हानांवर मात करता येते.
२. गरजेनुसार बदलता येण्याजोगे, विविध आकारांना समर्थन देते
600×600mm / 510×515mm किंवा त्याहून मोठ्या आकारांसहित, विविध आकारांच्या काचेच्या सब्सट्रेट्सना आधार देते.
३. प्रक्रियेतील लवचिकता, विविध सामग्रींशी सुसंगत
हे उपकरण Cu, Ti, W, Ni, आणि Pt सारख्या प्रवाहकीय किंवा कार्यात्मक पातळ फिल्म सामग्रीशी सुसंगत आहे, ज्यामुळे प्रवाहकता आणि क्षरण-प्रतिरोधकतेसाठीच्या विविध अनुप्रयोगांच्या गरजा पूर्ण होतात.
४. उपकरणांची स्थिर कामगिरी, सुलभ देखभाल
हे उपकरण एका बुद्धिमान नियंत्रण प्रणालीने सुसज्ज आहे, जी स्वयंचलित पॅरामीटर समायोजन आणि फिल्मच्या जाडीच्या एकसमानतेचे रिअल-टाइम निरीक्षण सक्षम करते; यात सुलभ देखभालीसाठी मॉड्यूलर डिझाइनचा अवलंब केला आहे, ज्यामुळे डाउनटाइम कमी होतो.
अर्ज:TGV/TSV/TMV प्रगत पॅकेजिंगसाठी वापरले जाऊ शकते, जे ≥10:1 गुणोत्तरासह खोल छिद्रांचे सीड लेयर कोटिंग साध्य करण्यास सक्षम आहे.