ÜRÜN AÇIKLAMASI

Ekipman avantajı

1. Derin Delik Kaplama Optimizasyonu

Özel Derin Delik Kaplama Teknolojisi: Zhenhua Vacuum'un kendi geliştirdiği derin delik kaplama teknolojisi, 30 mikrometre kadar küçük açıklıklar için bile 10:1'lik üstün bir en boy oranı elde ederek karmaşık derin delik yapılarının kaplama zorluklarının üstesinden gelir.

2. Özelleştirilebilir, Farklı Boyutları Destekler

600×600 mm / 510×515 mm veya daha büyük boyutlar da dahil olmak üzere çeşitli ebatlardaki cam alt tabakaları destekler.

3. İşlem Esnekliği, Birden Fazla Malzemeyle Uyumluluk

Bu ekipman, Cu, Ti, W, Ni ve Pt gibi iletken veya fonksiyonel ince film malzemeleriyle uyumludur ve iletkenlik ve korozyon direnci açısından farklı uygulama ihtiyaçlarını karşılar.

4. İstikrarlı Ekipman Performansı, Kolay Bakım

Bu ekipman, otomatik parametre ayarlaması ve film kalınlığı homojenliğinin gerçek zamanlı izlenmesini sağlayan akıllı bir kontrol sistemi ile donatılmıştır; kolay bakım için modüler bir tasarıma sahiptir ve arıza süresini azaltır.

Başvuru:TGV/TSV/TMV gelişmiş paketleme sistemlerinde kullanılabilir ve en boy oranı ≥10:1 olan derin delikli tohum tabakası kaplaması elde etme özelliğine sahiptir.