製品説明

このコーティングラインはモジュール構造を採用しており、プロセスや効率の要件に応じてチャンバーを拡張でき、両面コーティングも可能なため、柔軟性と利便性に優れています。イオン洗浄システム、急速加熱システム、DCマグネトロンスパッタリングシステムを搭載し、シンプルな金属コーティングを効率的に成膜できます。高速回転、容易なクランプ操作、高効率といった特長を備えています。

コーティングラインにはイオン洗浄システムと高温ベーキングシステムが装備されているため、成膜された膜の密着性が向上します。回転ターゲットを用いた小角スパッタリングは、小口径の内面への成膜に適しています。

1. この装置はコンパクトな構造で、設置面積が小さい。
2. 真空システムには、低エネルギー消費の空気抽出用分子ポンプが装備されています。
3. 資材ラックの自動返却により、人件費を削減できます。
4. プロセスパラメータを追跡でき、生産プロセス全体を監視できるため、生産不良の追跡が容易になります。
5. 塗装ラインは高度な自動化を実現しています。マニピュレーターと組み合わせることで、前工程と後工程を連結し、人件費を削減できます。