製品説明

コーティングラインはモジュール構造を採用しており、プロセスと効率の要件に応じてチャンバーを増やすことができ、両面コーティングが可能で、柔軟で便利です。イオンクリーニング装置、急速加熱装置、DCマグネトロンスパッタリング装置を搭載しており、簡易な金属皮膜を効率よく成膜できます。この装置は高速ビート、便利なクランプ、高効率を備えています。

コーティングラインにはイオンクリーニングと高温ベーキングシステムが装備されており、蒸着膜の密着性がより優れています。回転ターゲットによる小角スパッタリングは、小さな開口部の内面への成膜に有利です。

1. 装置の構造がコンパクトで床面積が小さい。
2. 真空システムには、低エネルギー消費で空気を抽出するための分子ポンプが装備されています。
3. 資材ラックの自動返却で省力化。
4. プロセスパラメータを追跡することができ、生産プロセスをプロセス全体で監視して、生産欠陥の追跡を容易にすることができます。
5. コーティングラインは高度に自動化されています。マニピュレータと併用することで前工程と後工程を接続し、人件費を削減できます。