உபகரண நன்மை
1. ஆழ்துளை பூச்சு உகப்பாக்கம்
பிரத்யேக ஆழ்துளைப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பம்: ஜென்ஹுவா வேக்யூம் நிறுவனத்தால் சுயமாக உருவாக்கப்பட்ட ஆழ்துளைப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பமானது, 30 மைக்ரோமீட்டர் அளவுள்ள மிகச்சிறிய துளைகளில்கூட 10:1 என்ற மிகச்சிறந்த பூச்சு விகிதத்தை அடைந்து, சிக்கலான ஆழ்துளைக் கட்டமைப்புகளின் பூச்சுச் சவால்களை வெற்றிகொள்கிறது.
2. தனிப்பயனாக்கக்கூடியது, வெவ்வேறு அளவுகளை ஆதரிக்கிறது
600×600மிமீ / 510×515மிமீ அல்லது அதற்கும் பெரிய விவரக்குறிப்புகள் உட்பட, பல்வேறு அளவிலான கண்ணாடித் தளங்களை ஆதரிக்கிறது.
3. செயல்முறை நெகிழ்வுத்தன்மை, பலதரப்பட்ட பொருட்களுடன் இணக்கமானது
இந்த உபகரணம், Cu, Ti, W, Ni, மற்றும் Pt போன்ற கடத்தும் அல்லது செயல்பாட்டு மென்படலப் பொருட்களுடன் இணக்கமானது, மேலும் கடத்துத்திறன் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன் தொடர்பான பல்வேறு பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
4. நிலையான உபகரணச் செயல்பாடு, எளிதான பராமரிப்பு
இந்த உபகரணத்தில், தானியங்கி அளவுரு சரிசெய்தல் மற்றும் படலத் தடிமன் சீரான தன்மையை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணிக்கும் வசதியை வழங்கும் ஒரு நுண்ணறிவு கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு பொருத்தப்பட்டுள்ளது; மேலும், இது எளிதான பராமரிப்பிற்காக ஒரு கூறுநிலை வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது செயலிழப்பு நேரத்தைக் குறைக்கிறது.
விண்ணப்பம்:TGV/TSV/TMV மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கிற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம், இது ≥10:1 என்ற விகிதத்தில் ஆழ்துளை விதை அடுக்கு பூச்சு செய்யும் திறன் கொண்டது.