Җиһазларның өстенлеге
1. Тирән тишекләрне каплауны оптимальләштерү
Эксклюзив тирән тишек каплау технологиясе: Zhenhua Vacuum компаниясенең үзендә эшләнгән тирән тишек каплау технологиясе хәтта 30 микрометр кебек кечкенә диафрагмалар өчен дә 10:1 югарырак аспект нисбәтенә ирешә ала, катлаулы тирән тишек структураларының каплау кыенлыкларын җиңә.
2. Үзгәртеп була торган, төрле зурлыкларны хуплый
600 × 600 мм / 510 × 515 мм яки аннан да зуррак спецификацияләрне кертеп, төрле зурлыктагы пыяла субстратларны хуплый.
3. Процессның сыгылмалылыгы, берничә материал белән туры килә
Җиһазлар Cu, Ti, W, Ni һәм Pt кебек үткәргеч яки функциональ юка пленка материаллары белән туры килә, үткәрүчәнлек һәм коррозиягә чыдамлык өчен төрле куллану ихтыяҗларын канәгатьләндерә.
4. Җиһазларның тотрыклы эшләве, җиңел хезмәт күрсәтү
Җиһазлар автоматик параметрларны көйләү һәм пленка калынлыгының бердәмлеген реаль вакыт режимында күзәтү мөмкинлеген бирә торган акыллы идарә итү системасы белән җиһазландырылган; ул җиңел хезмәт күрсәтү өчен модульле дизайн куллана, бу исәп-хисап вакытын киметә.
Кушымта:TGV/TSV/TMV алдынгы төргәкләү өчен кулланылырга мөмкин, ≥10:1 аспект нисбәте белән тирән тишекле орлык катламы каплавына ирешә ала.