製品説明

本装置は垂直モジュール設計構造を採用し、キャビティの独立した設置・保守、組み立て、および将来のアップグレードを容易にするため、複数のアクセスドアを備えています。ワークピースの汚染を防ぐため、完全密閉型の精製材料ラック搬送システムを搭載しています。ワークピースは片面または両面にコーティングすることができ、主に光学カラーフィルムまたは金属フィルムの成膜に使用されます。

本装置のコーティング室は、高真空状態を長時間維持し、不純物ガスを低減することで、コーティングの純度を高め、良好な屈折率を実現します。全自動のスピードフロー閉ループ制御システムを搭載し、成膜速度を向上させています。プロセスパラメータを追跡し、全工程をモニタリングすることで、製造不良の追跡を容易にします。本装置は高度な自動化を実現しており、マニピュレーターと併用することで、前工程と後工程を連携させ、人件費を削減できます。

このコーティング製造ラインはNbのコーティングに使用できます₂O₅、SiO₂、TiO₂、Cu、Cr、Ti、SUS、Agなどの酸化物や単純な金属材料にも使用できます。主に金属と光学材料を重ね合わせる光学カラーフィルムプロセスで使用されます。ガラス、PC、ペットその他材料にも使用されています。PETフィルム／複合板、ガラスカバー板、ディスプレイ画面などの製品に幅広く使用されています。

オプションモデル

垂直型多機能コーティング生産ライン	垂直装飾フィルムコーティング生産ライン