PRODUCTBESCHRIJVING

Voordeel van de apparatuur

1. Optimalisatie van de coating voor diepe gaten

Exclusieve coatingtechnologie voor diepe gaten: Zhenhua Vacuum heeft zelf een coatingtechnologie voor diepe gaten ontwikkeld waarmee een superieure aspectverhouding van 10:1 kan worden bereikt, zelfs voor minuscule openingen van slechts 30 micrometer. Hiermee worden de uitdagingen bij het coaten van complexe structuren met diepe gaten overwonnen.

2. Aanpasbaar, ondersteunt verschillende maten

Geschikt voor glazen substraten van diverse afmetingen, waaronder 600×600 mm / 510×515 mm en grotere afmetingen.

3. Procesflexibiliteit, compatibel met meerdere materialen

De apparatuur is compatibel met geleidende of functionele dunnefilmmaterialen zoals Cu, Ti, W, Ni en Pt, en voldoet daarmee aan verschillende toepassingsbehoeften op het gebied van geleidbaarheid en corrosiebestendigheid.

4. Stabiele prestaties van de apparatuur, eenvoudig onderhoud

De apparatuur is uitgerust met een intelligent besturingssysteem dat automatische parameteraanpassing en realtime monitoring van de diktegelijkmatigheid van de film mogelijk maakt; het modulaire ontwerp zorgt voor eenvoudig onderhoud en minimaliseert stilstandtijd.

Sollicitatie:Kan worden gebruikt voor geavanceerde TGV/TSV/TMV-verpakkingen, waarmee diepe gat-zaadlaagcoating met een aspectverhouding van ≥10:1 kan worden gerealiseerd.