АПІСАННЕ ПРАДУКТУ

Перавага абсталявання

1. Аптымізацыя пакрыцця глыбокіх адтулін

Эксклюзіўная тэхналогія пакрыцця глыбокіх адтулін: уласна распрацаваная кампаніяй Zhenhua Vacuum тэхналогія пакрыцця глыбокіх адтулін дазваляе дасягнуць выдатнага суадносін бакоў 10:1 нават для малюсенькіх адтулін памерам усяго 30 мікраметраў, пераадольваючы праблемы пакрыцця складаных структур глыбокіх адтулін.

2. Наладжвальны, падтрымлівае розныя памеры

Падтрымлівае шкляныя падкладкі розных памераў, у тым ліку 600×600 мм / 510×515 мм або больш.

3. Гнуткасць працэсу, сумяшчальнасць з рознымі матэрыяламі

Абсталяванне сумяшчальнае з праводзячымі або функцыянальнымі тонкаплёнкавымі матэрыяламі, такімі як Cu, Ti, W, Ni і Pt, што задавальняе патрабаванні розных ужыванняў да праводнасці і каразійнай устойлівасці.

4. Стабільная праца абсталявання, лёгкае абслугоўванне

Абсталяванне абсталявана інтэлектуальнай сістэмай кіравання, якая дазваляе аўтаматычна рэгуляваць параметры і кантраляваць аднастайнасць таўшчыні плёнкі ў рэжыме рэальнага часу; яно мае модульную канструкцыю для лёгкага абслугоўвання і скарачэння часу прастою.

Прымяненне:Можа выкарыстоўвацца для пашыранай упакоўкі TGV/TSV/TMV, здольнай дасягнуць пакрыцця пластом глыбокіх адтулін з суадносінамі бакоў ≥10:1.