製品説明

設備の優位性

1. 深穴コーティングの最適化

独自の深穴コーティング技術: Zhenhua Vacuum が独自に開発した深穴コーティング技術は、30 マイクロメートルという小さな開口部でも 10:1 という優れたアスペクト比を実現し、複雑な深穴構造のコーティングの課題を克服します。

2. カスタマイズ可能、さまざまなサイズをサポート

600×600mm/510×515mm以上の仕様をはじめ、様々なサイズのガラス基板に対応します。

3. プロセスの柔軟性、複数の材料との互換性

この装置は、Cu、Ti、W、Ni、Pt などの導電性または機能性薄膜材料と互換性があり、導電性と耐腐食性に関するさまざまなアプリケーションのニーズを満たします。

4. 安定した設備性能、容易なメンテナンス

この装置には、パラメータの自動調整とフィルムの厚さの均一性のリアルタイム監視を可能にするインテリジェント制御システムが搭載されており、メンテナンスが容易なモジュール設計を採用しているため、ダウンタイムが短縮されます。

応用：TGV/TSV/TMV 高度パッケージングに使用でき、アスペクト比 ≥ 10:1 の深穴シード層コーティングを実現できます。