真空引きは「真空排気」とも呼ばれ、様々な真空ポンプを用いて容器内の空気を除去し、空間内の圧力を1気圧以下に下げることを指します。現在、真空を得るために一般的に使用されている装置には、回転翼型機械式真空ポンプ、ルーツポンプ、油拡散ポンプ、複合分子ポンプ、分子ふるい吸着ポンプ、チタン昇華ポンプ、スパッタリングイオンポンプ、クライオジェニックポンプなどがあります。これらのポンプのうち、最初の4つのポンプはガス移送ポンプ（移送真空ポンプ）に分類され、ガス分子を連続的に真空ポンプに吸い込み、外部環境に排出することで真空排気を実現します。最後の4つのポンプはガス回収ポンプ（回収真空ポンプ）に分類され、ポンプ室の内壁に分子を凝縮または化学結合させることで必要な真空度を実現します。ガス回収ポンプは、作動媒体として油を使用しないことから、オイルフリー真空ポンプとも呼ばれます。ガスを永久的に除去する移送ポンプとは異なり、一部の捕捉ポンプは可逆的であり、収集または凝縮されたガスを加熱プロセス中にシステムに排出することができます。
移送型真空ポンプは、主に容積移送型と運動量移送型の2つのカテゴリーに分けられます。容積移送型ポンプには通常、ロータリーベーン式メカニカルポンプ、液封ポンプ、往復ポンプ、ルーツポンプが含まれます。運動量移送型真空ポンプには通常、分子ポンプ、ジェットポンプ、油拡散ポンプが含まれます。捕捉型真空ポンプには、通常、低温吸着ポンプとスパッタリングイオンポンプが含まれます。
一般に、コーティングプロセスが異なり、真空コーティングチャンバーの真空が到達すべきレベルも異なり、真空技術では、背景真空（固有真空とも呼ばれます）よりもそのレベルを表現します。背景真空とは、真空ポンプを介してコーティングチャンバー内の真空がコーティングプロセスの最高真空の要件を満たすことを指し、この真空の大きさは主に真空ポンプの能力に依存します。真空コーティング室の真空システムが到達できる最高真空は、限界真空（または限界圧力）と呼ばれます。表1-2に、一般的な真空ポンプの動作圧力範囲と、得られる到達圧力を示します。表の網掛け部分は、各真空ポンプを他の機器と組み合わせて使用した場合に得られる圧力を表しています。
–この記事は真空コーティング機メーカー広東振華
投稿日時: 2024年8月30日