Formas de proceso para mellorar a resistencia mecánica da capa de película

As propiedades mecánicas da capa de membrana vense afectadas pola adhesión, a tensión, a densidade de agregación, etc. A partir da relación entre o material da capa de membrana e os factores do proceso, pódese ver que se queremos mellorar a resistencia mecánica da capa de membrana, debemos centrarnos nos seguintes parámetros do proceso:

(1) nivel de baleiro. O baleiro no rendemento da película é moi obvio. A maioría dos indicadores de rendemento da capa da película dependen en gran medida do nivel de baleiro. Normalmente, a medida que aumenta o grao de baleiro, aumenta a densidade de agregación da película, aumenta a firmeza, mellora a estrutura da película, a composición química faise máis pura, pero ao mesmo tempo tamén aumenta a tensión.

(2) Taxa de deposición. Mellorar a taxa de deposición non só se pode usar para mellorar a taxa de evaporación, é dicir, aumentar a temperatura da fonte de evaporación, senón tamén para aumentar a área da fonte de evaporación, pero o uso da fonte de evaporación para aumentar a temperatura da fonte ten os seus inconvenientes: a tensión da capa de membrana é demasiado grande; o gas formador de película é fácil de descompoñer. Polo tanto, ás veces é máis favorable aumentar a área da fonte de evaporación que mellorar a temperatura da fonte de evaporación.

(3) Temperatura do substrato. Aumentar a temperatura do substrato favorece a adsorción na superficie do substrato das moléculas de gas restantes para excluír, aumentando o substrato e a forza de unión entre as moléculas depositadas: ao mesmo tempo, promoverá a conversión da adsorción física en adsorción química, mellorará a interacción entre as moléculas, de xeito que a estrutura da capa de membrana sexa compacta. Por exemplo, o quecemento do substrato da membrana de Mg a 250 ~ 300 ℃ pode reducir a tensión interna, mellorar a densidade de agregación e aumentar a dureza da capa de membrana: o quecemento do substrato a 120 ~ 150 ℃ para a membrana multicapa de Zr03-Si02 preparada aumenta moito a súa resistencia mecánica, pero unha temperatura do substrato demasiado alta provocará o deterioro da capa de membrana.

(4) Bombardeo iónico. O bombardeo iónico ten un efecto na formación de superficies altamente cohesivas, na rugosidade superficial, na oxidación e na densidade de agregación. O bombardeo antes do revestimento pode limpar a superficie e aumentar a adhesión; o bombardeo despois do revestimento pode mellorar a densidade de agregación da capa de película, etc., aumentando así a resistencia mecánica e a dureza.

(5) Limpeza do substrato. Se o método de limpeza do substrato non é axeitado ou non é limpo, as impurezas residuais ou o axente de limpeza no substrato provocan nova contaminación, o que afecta as condicións de cohesión e adhesión do revestimento, o que afecta as propiedades estruturais e o grosor óptico da primeira capa, pero tamén fai que a capa da película se desprenda facilmente do substrato, cambiando así as características da capa da película.

–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento ao baleiroGuangdong Zhenhua