Imọ-ẹrọ iṣipopada igbale jẹ imọ-ẹrọ ti o fi awọn ohun elo fiimu tinrin sori dada ti awọn ohun elo sobusitireti labẹ agbegbe igbale, eyiti o jẹ lilo pupọ ni ẹrọ itanna, awọn opiki, apoti, ọṣọ ati awọn aaye miiran. Ohun elo ibora igbale le pin ni akọkọ si awọn iru atẹle:
1. Awọn ohun elo ifasilẹ igbona: eyi ni ọna ti a bo igbale igbale ti aṣa julọ, nipa gbigbona ohun elo fiimu tinrin ninu ọkọ oju omi evaporation, ohun elo naa jẹ evaporated ati gbe sori ilẹ ti ohun elo sobusitireti.
2. Awọn ohun elo fifọ sputtering: lilo awọn ions agbara-giga lati kọlu dada ti ohun elo ibi-afẹde, awọn ọta ohun elo ibi-afẹde ti wa ni sputtered ati fi silẹ si ohun elo sobusitireti. Magnetron sputtering ni anfani lati gba aṣọ aṣọ diẹ sii ati ifaramọ ti fiimu naa, o dara fun iṣelọpọ pupọ.
3.Ion beam deposition equipment: Ion beams ti wa ni lo lati beebe tinrin fiimu awọn ohun elo lori sobusitireti. Ọna yii le gba awọn fiimu aṣọ aṣọ pupọ ati pe o dara fun awọn iṣẹlẹ pẹlu awọn ibeere pipe, ṣugbọn idiyele ohun elo jẹ giga.
4. Kemikali Vapor Deposition (CVD) Ohun elo: Fọọmu tinrin fiimu lori dada ti awọn sobusitireti ohun elo nipasẹ kan kemikali lenu. Ọna yii le mura didara ga, awọn fiimu oriṣiriṣi pupọ, ṣugbọn ohun elo jẹ eka ati idiyele.
5. Molecular Beam Epitaxy (MBE) ohun elo: Eyi jẹ ọna ti iṣakoso idagba ti awọn fiimu tinrin ni ipele atomiki ati pe a lo ni akọkọ fun igbaradi ti awọn fẹlẹfẹlẹ ultra-tinrin ati awọn ẹya multilayer fun semikondokito ati awọn ohun elo nanotechnology.
6. Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) ohun elo: Eyi jẹ ilana ti o nlo pilasima lati jẹki ifisilẹ ti awọn fiimu tinrin nipasẹ iṣesi kemikali, gbigba fun iṣelọpọ iyara ti awọn fiimu tinrin ni awọn iwọn otutu kekere.
7. Pulsed Laser Deposition (PLD): Awọn wọnyi lo awọn iṣọn laser agbara-giga lati kọlu ibi-afẹde kan, awọn ohun elo evaporate lati dada ibi-afẹde ati fi sii sori sobusitireti kan, ati pe o dara fun idagbasoke didara giga, awọn fiimu oxide eka.
Ọkọọkan awọn ẹrọ wọnyi ni awọn abuda tirẹ ni apẹrẹ ati iṣẹ ati pe o dara fun awọn ohun elo ile-iṣẹ oriṣiriṣi ati awọn agbegbe iwadii. Pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ, imọ-ẹrọ ibora igbale tun nlọsiwaju, ati awọn ohun elo iṣipopada igbale tuntun tun n farahan.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọolupese Guangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-12-2024