Awọn ọna Ilana lati Mu Agbara Mechanical ti Layer Fiimu dara si

Awọn ohun-ini ẹrọ ti awọ-ara awo ilu ni o ni ipa nipasẹ ifaramọ, aapọn, iwuwo alaropo, bbl Lati ibatan laarin awọn ohun elo Layer awo ati awọn ifosiwewe ilana, o le rii pe ti a ba fẹ mu agbara ẹrọ ti awo awo awọ, a yẹ ki o dojukọ awọn ilana ilana atẹle wọnyi:

(1) ipele igbale. Igbale lori iṣẹ ti fiimu jẹ kedere. Pupọ julọ awọn afihan iṣẹ ṣiṣe ti Layer fiimu jẹ igbẹkẹle pupọ si ipele igbale. Nigbagbogbo, bi iwọn igbale ti n pọ si, iwuwo apapọ fiimu naa pọ si, iduroṣinṣin pọ si, eto fiimu ti ni ilọsiwaju, akopọ kemikali di mimọ, ṣugbọn ni akoko kanna wahala naa tun pọ si.

(2) Oṣuwọn idasile. Imudara oṣuwọn iṣipopada kii ṣe nikan ni a le lo lati mu iwọn ilọkuro naa pọ si, iyẹn ni, pọ si ọna iwọn otutu orisun evaporation, tun le ṣee lo lati mu isunmọ agbegbe isunmọ lati ṣaṣeyọri, ṣugbọn lilo orisun evaporation lati mu iwọn otutu ti ọna naa pọ si ni awọn abawọn rẹ: jẹ ki aapọn Layer awo awọ tobi ju; gaasi ti o ni fiimu jẹ rọrun lati decompose. Nitorinaa nigbakan pọ si agbegbe orisun evaporation ju lati mu iwọn otutu orisun evaporation jẹ ọjo diẹ sii.

(3) sobusitireti otutu. Alekun iwọn otutu sobusitireti jẹ itọsi si adsorption lori dada sobusitireti ti awọn ohun elo gaasi ti o ku lati yọkuro, mu sobusitireti ati agbara abuda laarin awọn ohun elo ti a fi silẹ: ni akoko kanna yoo ṣe agbega iyipada ti adsorption ti ara si adsorption kemikali, mu ibaraenisepo laarin awọn ohun elo, nitorinaa eto Layer awo awọ jẹ ṣinṣin. Fun apẹẹrẹ, Mg, awo awọ, alapapo sobusitireti si 250 ~ 300 ℃ le dinku aapọn inu, mu iwuwo apapọ pọ si, mu líle ti Layer awo: alapapo sobusitireti si 120 ~ 150 ℃ ti pese Zr03-Si02, awo multilayer, agbara ẹrọ rẹ pọ si pupọ, ṣugbọn iwọn otutu ti sobusitireti yoo jẹ ga julọ.

(4) Ion bombardment. Ion bombardment ni ipa lori dida awọn ipele isokan ti o ga julọ, aibikita dada, ifoyina ati iwuwo apapọ. Awọn bombardment ṣaaju ki o to bo le nu dada ati ki o mu awọn adhesion; awọn bombardment lẹhin ti a bo le mu awọn fiimu Layer alaropo iwuwo, ati be be lo, bayi jijẹ awọn darí agbara ati líle.

(5) Sobusitireti ninu. Ọna mimọ sobusitireti ko yẹ tabi ko mọ, ninu awọn aito aloku sobusitireti tabi oluranlowo mimọ, lẹhinna fa idoti tuntun, ni ibora ti awọn ipo isomọ oriṣiriṣi ati adhesion, ti o ni ipa lori ipele akọkọ ti awọn ohun-ini igbekale ati sisanra opiti, ṣugbọn tun jẹ ki Layer fiimu jẹ rọrun lati jade kuro ni sobusitireti, nitorinaa yiyipada awọn abuda ti Layer fiimu naa.

-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua