1. Ion beam iranlọwọ imọ-ẹrọ ifisilẹ jẹ eyiti o ni ijuwe nipasẹ ifaramọ ti o lagbara laarin awo awọ ati sobusitireti, Layer awo awọ jẹ lagbara pupọ. Awọn adanwo fihan pe: Ififunni iranlọwọ ion tan ina ti ifaramọ ju ifaramọ ti ifasilẹ eefin igbona pọ si ni ọpọlọpọ igba si awọn ọgọọgọrun awọn akoko, idi naa jẹ pataki nitori bombardment ion lori dada ti ipa mimọ, nitorinaa wiwo ipilẹ awo awo lati ṣe agbekalẹ ọna interfacial gradient, tabi Layer iyipada arabara, ati lati dinku aapọn awo ilu.
2. Ion beam iranlọwọ ifisilẹ le mu awọn ohun-ini ẹrọ ti fiimu naa pọ si, fa igbesi aye rirẹ, ti o dara pupọ fun igbaradi ti awọn oxides, awọn carbides, cubic BN, TiB2, ati awọn ohun-ọṣọ ti o dabi diamond. Fun apẹẹrẹ, ni 1Cr18Ni9Ti irin ti o ni ooru-ooru lori lilo imọ-ẹrọ ifisilẹ ti ion-beam-iranlọwọ lati dagba 200nm Si3N4 fiimu, kii ṣe nikan le ṣe idiwọ ifarahan ti awọn dojuijako rirẹ lori oju ti ohun elo naa, ṣugbọn tun dinku oṣuwọn rirẹ pipin kaakiri, lati fa igbesi aye rẹ ni ipa ti o dara.
3. Ion beam iranlọwọ ifisilẹ le yi awọn wahala iseda ti awọn fiimu ati awọn oniwe-kristal be be ayipada. Fun apẹẹrẹ, igbaradi ti fiimu Cr pẹlu 11.5keV Xe + tabi Ar + bombardment ti dada sobusitireti, rii pe atunṣe ti iwọn otutu sobusitireti, agbara ion bombardment, awọn ions ati awọn ọta lati de ipin ti awọn aye, le ṣe aapọn lati aapọn fifẹ si aapọn compressive, ilana crystalline ti fiimu naa yoo tun ṣe awọn ayipada. Labẹ ipin dide ion-to-atomu kan, ifisilẹ iranlọwọ ion tan ina naa ni iṣalaye yiyan ti o dara julọ ju Layer awo awo ti a fi silẹ nipasẹ ifisilẹ oru ooru.
4.Ion beam iranlọwọ ifisilẹ le mu awọn ipata resistance ati ifoyina resistance ti awọn awo. Nitori iwuwo ti ion beam-iranlọwọ ifisilẹ ti ipele fiimu, ilọsiwaju ipilẹ wiwo wiwo fiimu tabi dida ipo amorphous ti o fa nipasẹ piparẹ ti awọn aala ọkà laarin awọn patikulu, eyiti o jẹ itara si imudara ti ipata resistance ti ohun elo ati koju ifoyina ti iwọn otutu giga.
5. Ion beam iranlọwọ ifisilẹ le yi awọn ohun-ini itanna ti fiimu naa pada ati mu iṣẹ ṣiṣe ti awọn fiimu tinrin opiti.
6. Iṣeduro iranlọwọ Ion ngbanilaaye deede ati atunṣe ominira ti awọn paramita ti o nii ṣe pẹlu ifisilẹ atomiki ati gbingbin ion, ati gba laaye iran ti o tẹle ti awọn aṣọ ti awọn micrometers diẹ pẹlu akopọ ti o ni ibamu ni awọn agbara bombardment kekere, ki ọpọlọpọ awọn fiimu tinrin le dagba ni iwọn otutu yara, yago fun awọn ipa ikolu lori awọn ohun elo tabi awọn ẹya pipe ti o le fa nipasẹ itọju iwọn otutu.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-24-2024