וואָס זענען די קלאַסיפֿיקאַציעס פֿון וואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט?

וואַקוום קאָוטינג טעכנאָלאָגיע איז אַ טעכנאָלאָגיע וואָס לייגט אַוועק דין-פילם מאַטעריאַלן אויף דער ייבערפלאַך פון סאַבסטראַט מאַטעריאַלן אונטער אַ וואַקוום סביבה, וואָס ווערט ברייט גענוצט אין עלעקטראָניק, אָפּטיק, פּאַקאַדזשינג, דעקאָראַציע און אַנדערע פעלדער. וואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט קען דער הויפּט צעטיילט ווערן אין די פאלגענדע טיפּן:

1. טערמישע פארדאַמפּונג קאָוטינג עקוויפּמענט: דאָס איז די מערסט טראַדיציאָנעלע וואַקוום קאָוטינג מעטאָד, דורך הייצן דעם דין פילם מאַטעריאַל אין דעם פארדאַמפּונג שיפל, ווערט דער מאַטעריאַל פארדאַמפּט און דעפּאַזיטירט אויף דער ייבערפלאַך פון דעם סאַבסטראַט מאַטעריאַל.
2. שפּריצן קאָוטינג עקוויפּמענט: ניצנדיק הויך-ענערגיע יאָנען צו שלאָגן די ייבערפלאַך פון די ציל מאַטעריאַל, די ציל מאַטעריאַל אַטאָמען זענען שפּריצן און דעפּאַזיטעד צו די סאַבסטראַט מאַטעריאַל. מאַגנעטראָן שפּריצן איז ביכולת צו באַקומען אַ מער מונדיר און שטאַרקער אַדכיזשאַן פון די פילם, פּאַסיק פֿאַר מאַסע פּראָדוקציע.
3. יאָן שטראַל דעפּאָזיציע עקוויפּמענט: יאָן שטראַלן ווערן גענוצט צו דעפּאָזיטירן דין פילם מאַטעריאַלן אויף די סאַבסטראַט. די מעטאָדע קען באַקומען זייער מונדיר פילמען און איז פּאַסיק פֿאַר געשעענישן מיט הויך פּינטלעכקייט רעקווייערמענץ, אָבער די עקוויפּמענט קאָסט איז הויך.
4. כעמישע פארע אפזעצונג (CVD) עקוויפּמענט: פארמירט דינע פילמען אויף דער ייבערפלאך פון דעם סאַבסטראַט מאַטעריאַל דורך אַ כעמישע רעאַקציע. די מעטאָדע קען צוגרייטן הויך-קוואַליטעט, מולטי-ספּעציעס פילמען, אָבער די עקוויפּמענט איז קאָמפּליצירט און טייַער.
5. מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי (MBE) עקוויפּמענט: דאָס איז אַ מעטאָד פון קאָנטראָלירן דעם וואוקס פון דין פילמען אויף דעם אַטאָמישן לעוועל און ווערט דער הויפּט גענוצט פֿאַר דער צוגרייטונג פון אולטראַ-דין שיכטן און מולטישיכט סטרוקטורן פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר און נאַנאָטעכנאָלאָגיע אַפּליקאַציעס.
6. פּלאַזמע פֿאַרשטאַרקטע כעמישע דאַמף דעפּאַזישאַן (PECVD) עקוויפּמענט: דאָס איז אַ טעכניק וואָס ניצט פּלאַזמע צו פֿאַרבעסערן די דעפּאַזישאַן פון דין פילמען דורך אַ כעמישע רעאַקציע, וואָס אַלאַוז די שנעל פאָרמירונג פון דין פילמען ביי נידעריקערע טעמפּעראַטורן.
7. פּולסירטע לאַזער דעפּאָזיציע (PLD) דעוויסעס: די נוצן הויך-ענערגיע לאַזער פּולסן צו שלאָגן אַ ציל, פארדאַמפּפן מאַטעריאַל פון דער ציל ייבערפלאַך און דעפּאָזיטירן עס אויף אַ סאַבסטראַט, און זענען פּאַסיק פֿאַר גראָוינג הויך-קוואַליטעט, קאָמפּלעקס אָקסייד פילמען.
יעדע פון ​​די דעווייסעס האט אירע אייגענע כאראקטעריסטיקס אין דיזיין און אפעראציע און איז פאסיג פאר פארשידענע אינדוסטריעלע אנווענדונגען און פארשונג געביטן. מיט דער אנטוויקלונג פון טעכנאלאגיע, גייט אויך פאראויס וואקיום קאוטינג טעכנאלאגיע, און נייע וואקיום קאוטינג עקוויפמענט קומט אויך ארויס.

–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשיןפאַבריקאַנט גואַנגדאָנג זשענהואַ