טעכנישע פֿעיִקייטן פון וואַקוום מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג עקוויפּמענט

וואַקוום מאַגנעטראָן ספּאַטערינג איז באַזונדערס פּאַסיק פֿאַר רעאַקטיווע דעפּאָזיציע קאָוטינגז. אין פאַקט, דעם פּראָצעס קען דעפּאָזיטירן דין פילמען פון קיין אָקסייד, קאַרבייד און ניטרייד מאַטעריאַלן. אין דערצו, דער פּראָצעס איז אויך באַזונדערס פּאַסיק פֿאַר די דעפּאָזיציע פון ​​מולטישיכטיקע פילם סטרוקטורן, אַרייַנגערעכנט אָפּטישע דיזיינז, קאָליר פילמען, טראָגן-קעגנשטעליק קאָוטינגז, נאַנאָ-לאַמינאַץ, סופּערלאַטיס קאָוטינגז, ינסאַליישאַן פילמען, עטק. שוין אין 1970, הויך-קוואַליטעט אָפּטישע פילם דעפּאָזיציע ביישפילן זענען דעוועלאָפּעד פֿאַר אַ פאַרשיידנקייט פון אָפּטישע פילם שיכט מאַטעריאַלן. די מאַטעריאַלן אַרייַננעמען טראַנספּאַרענט קאַנדאַקטיוו מאַטעריאַלן, האַלב-קאָנדוקטאָרן, פּאָלימערן, אָקסיידן, קאַרביידעס און ניטריידעס, בשעת פלאָריידז ווערן גענוצט אין פּראָצעסן ווי עוואַפּאָראַטיוו קאָוטינג.

דער הויפּט מעלה פון דעם מאַגנעטראָן ספּאַטערינג פּראָצעס איז צו נוצן רעאַקטיווע אָדער ניט-רעאַקטיווע קאָוטינג פּראָצעסן צו אַוועקלייגן לייַערס פון די מאַטעריאַלן און גוט קאָנטראָלירן די לייַער זאַץ, פילם גרעב, פילם גרעב יוניפאָרמאַטי און מעכאַנישע פּראָפּערטיעס פון די לייַער. דער פּראָצעס האט די קעראַקטעריסטיקס ווי גייט.

1. גרויסע דעפּאָזיציע ראַטע. צוליב דעם באַנוץ פון הויך-גיכקייט מאַגנעטראָן עלעקטראָדן, קען מען באַקומען אַ גרויסן יאָן שטראָם, וואָס פֿאַרבעסערט עפֿעקטיוו די דעפּאָזיציע ראַטע און שפּאַטערינג ראַטע פֿון דעם קאָוטינג פּראָצעס. פֿאַרגליכן מיט אַנדערע שפּאַטערינג קאָוטינג פּראָצעסן, האָט מאַגנעטראָן שפּאַטערינג אַ הויכע קאַפּאַציטעט און הויכע פּראָדוקציע, און ווערט ברייט גענוצט אין פֿאַרשידענע אינדוסטריעלע פּראָדוקציעס.

2. הויך מאַכט עפעקטיווקייט. מאַגנעטראָן ספּאַטערינג ציל בכלל קלייַבן אַ וואָולטידזש אין די קייט פון 200V-1000V, יוזשאַוואַלי 600V, ווייַל די וואָולטידזש פון 600V איז פּונקט אין די העכסטן עפעקטיוו קייט פון מאַכט עפעקטיווקייט.

3. נידעריגע שפּריצן ענערגיע. די מאַגנעטראָן ציל וואָולטאַזש ווערט געווענדט נידעריק, און די מאַגנעטישע פעלד באַגרענעצט די פּלאַזמע לעבן די קאַטאָדע, וואָס פאַרהיט העכער ענערגיע טשאַרדזשד פּאַרטיקאַלז פון אַרויפֿוואַרפֿן אויף די סאַבסטראַט.

4. נידעריקע סאַבסטראַט טעמפּעראַטור. די אַנאָדע קען גענוצט ווערן צו פירן אַוועק די עלעקטראָנען וואָס ווערן גענערירט בעת דער אָפּלאָדן, אָן קיין נויט פֿאַר דער סאַבסטראַט שטיצע, וואָס קען עפֿעקטיוו רעדוצירן די עלעקטראָן באָמבאַרדירונג פֿון דעם סאַבסטראַט. אַזוי איז די סאַבסטראַט טעמפּעראַטור נידעריק, וואָס איז זייער ידעאַל פֿאַר עטלעכע פּלאַסטיק סאַבסטראַטן וואָס זענען נישט זייער קעגנשטעליק צו הויך טעמפּעראַטור קאָוטינג.

5, מאַגנעטראָן ספּאַטערינג ציל ייבערפלאַך עטשינג איז נישט אייניג. מאַגנעטראָן ספּאַטערינג ציל ייבערפלאַך עטשינג איז נישט גלייך געפֿירט דורך די נישט גלייך מאַגנעטישע פעלד פון די ציל. די אָרט פון די ציל עטשינג קורס איז גרעסער, אַזוי אַז די עפעקטיוו נוצן קורס פון די ציל איז נידעריק (בלויז 20-30% נוצן קורס). דעריבער, צו פֿאַרבעסערן די ציל נוצן, די מאַגנעטישע פעלד פאַרשפּרייטונג דאַרף צו זיין געביטן דורך זיכער מיטלען, אָדער די נוצן פון מאַגנעטן וואָס רירן זיך אין די קאַטאָוד קענען אויך פֿאַרבעסערן די ציל נוצן.

6. קאָמפּאָזיט ציל. קען מאַכן אַ קאָמפּאָזיט ציל קאָוטינג צומיש פילם. איצט, די נוצן פון קאָמפּאָזיט מאַגנעטראָן ציל ספּאַטערינג פּראָצעס איז געווען געראָטן קאָוטינג אויף Ta-Ti צומיש, (Tb-Dy)-Fe און Gb-Co צומיש פילם. קאָמפּאָזיט ציל סטרוקטור האט פיר טייפּס, ריספּעקטיוולי, זענען די קייַלעכיק ינלייד ציל, קוואַדראַט ינלייד ציל, קליין קוואַדראַט ינלייד ציל און סעקטאָר ינלייד ציל. די נוצן פון די סעקטאָר ינלייד ציל סטרוקטור איז בעסער.

7. ברייטע קייט פון אַפּליקאַציעס. מאַגנעטראָן ספּאַטערינג פּראָצעס קען אַוועקלייגן פילע עלעמענטן, די געוויינטלעך זענען: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, עטק.

מאַגנעטראָן ספּאַטערינג איז איינער פון די מערסט וויידלי געניצטע קאָוטינג פּראָצעסן צו באַקומען הויך-קוואַליטעט פילמען. מיט אַ נייַ קאַטאָדע, עס האט הויך ציל נוצן און הויך דעפּאָזיציע קורס. גואַנגדאָנג זשענהואַ טעכנאָלאָגיע וואַקוום מאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג פּראָצעס איז איצט וויידלי געניצט אין די קאָוטינג פון גרויס-שטח סאַבסטראַטן. דער פּראָצעס איז ניט בלויז געניצט פֿאַר איין-שיכט פילם דעפּאָזיציע, אָבער אויך פֿאַר מולטי-שיכט פילם קאָוטינג, אין אַדישאַן, עס איז אויך געניצט אין די ראָל צו ראָל פּראָצעס פֿאַר פּאַקקאַגינג פילם, אָפּטיש פילם, לאַמינאַטיאָן און אנדערע פילם קאָוטינג.