פּראָצעס וועגן צו פֿאַרבעסערן די מעטשאַניקאַל שטאַרקייט פון פילם שיכטע

די מעכאנישע אייגנשאפטן פון דער מעמבראַן שיכט ווערן באאיינפלוסט דורך דער אדכעזיע, דרוק, אגרעגאציע געדיכטקייט, א.א.וו. פון דער באַציִונג צווישן דעם מעמבראַן שיכט מאַטעריאַל און פּראָצעס פאַקטאָרן, קען מען זען אַז אויב מיר ווילן פֿאַרבעסערן די מעכאנישע שטאַרקייט פון דער מעמבראַן שיכט, זאָלן מיר זיך קאָנצענטרירן אויף די פאלגענדע פּראָצעס פּאַראַמעטערס:

(1) וואַקוום לעוועל. וואַקוום אויף די פאָרשטעלונג פון די פילם איז זייער קלאָר. רובֿ פון די פאָרשטעלונג אינדיקאַטאָרן פון די פילם שיכט איז זייער אָפענגיק אויף די וואַקוום לעוועל. געוויינטלעך, ווי דער וואַקוום גראַד וואַקסט, וואַקסט די פילם אַגרעגאַציע געדיכטקייט, די פעסטקייט וואַקסט, די פילם סטרוקטור ווערט פֿאַרבעסערט, די כעמישע זאַץ ווערט ריין, אָבער אין דער זעלבער צייט וואַקסט אויך די דרוק.

(2) דעפּאַזישאַן קורס. פֿאַרבעסערן די דעפּאַזישאַן קורס קען ניט נאָר ווערן גענוצט צו פֿאַרבעסערן די פֿאַרדאַמפּונג קורס, דאָס הייסט, פאַרגרעסערן די טעמפּעראַטור פֿון דער פֿאַרדאַמפּונג מקור, עס קען אויך ווערן גענוצט צו דערגרייכן אַ צוגאַנג צו פאַרגרעסערן די שטח פֿון דער פֿאַרדאַמפּונג מקור, אָבער די נוצן פֿון אַ פֿאַרדאַמפּונג מקור צו פאַרגרעסערן די טעמפּעראַטור פֿון דער צוגאַנג האט זיינע חסרונות: דאָס מאַכט די מעמבראַן שיכטע דרוק צו גרויס; פֿילם-פאָרמינג גאַז איז גרינג צו צעלאָזן. אַזוי מאל פאַרגרעסערן די שטח פֿון דער פֿאַרדאַמפּונג מקור איז מער גינציק ווי צו פֿאַרבעסערן די טעמפּעראַטור פֿון דער פֿאַרדאַמפּונג מקור.

(3) סאַבסטראַט טעמפּעראַטור. העכערן די סאַבסטראַט טעמפּעראַטור איז גינסטיק צו אַדסאָרפּטיאָן אויף די סאַבסטראַט ייבערפלאַך פון די רוען גאַז מאַלעקולן צו ויסשליסן, פאַרגרעסערן די סאַבסטראַט און די בינדינג קראַפט צווישן די דיפּאַזאַץ מאַלעקולן: אין דער זעלביקער צייט וועט העכערן די קאַנווערזשאַן פון גשמיות אַדסאָרפּטיאָן צו כעמיש אַדסאָרפּטיאָן, פֿאַרבעסערן די ינטעראַקשאַן צווישן מאַלעקולן, אַזוי אַז די מעמבראַנע שיכט סטרוקטור איז פעסט. למשל, מאַגנעזיום, מעמבראַנע, סאַבסטראַט כיטינג צו 250 ~ 300 ℃ קענען רעדוצירן די ינערלעך דרוק, פֿאַרבעסערן די אַגגרעגאַטיאָן געדיכטקייַט, פאַרגרעסערן די כאַרדנאַס פון די מעמבראַנע שיכט: סאַבסטראַט כיטינג צו 120 ~ 150 ℃ צוגעגרייט Zr03-Si02, מולטישיכט מעמבראַנע, זייַן מעכאַניש שטאַרקייַט ינקריסאַז אַ פּלאַץ, אָבער די סאַבסטראַט טעמפּעראַטור איז צו הויך וועט פאַרשאַפן די מעמבראַנע שיכט דיטיריעריישאַן.

(4) יאָן באָמבאַרדירן. יאָן באָמבאַרדירן האט אַן עפֿעקט אויף דער פֿאָרמירונג פֿון שטאַרק קאָוכיסיוו ייבערפֿלאַכן, ייבערפֿלאַך ראַפֿקייט, אָקסידאַציע און אַגרעגאַציע געדיכטקייט. די באָמבאַרדירן פֿאַר קאָוטינג קען רייניקן די ייבערפֿלאַך און פֿאַרגרעסערן די אַדכיזשאַן; די באָמבאַרדירן נאָך קאָוטינג קען פֿאַרבעסערן די פֿילם שיכט אַגרעגאַציע געדיכטקייט, אאַז"וו, אַזוי פֿאַרגרעסערנדיק די מעכאַנישע שטאַרקייט און כאַרדנאַס.

(5) סאַבסטראַט רייניקונג. די סאַבסטראַט רייניקונג מעטאָדע איז נישט פּאַסיק אָדער נישט ריין, אויב די פֿאַרפּעסטיקונגען אָדער רייניקונג אַגענטן זענען איבערגעבליבן אין סאַבסטראַט, קען דאָס פֿאַראורזאַכן נײַע פֿאַרפּעסטיקונג, און די קאָוכיזשאַן און אַדכיזשאַן אין די קאָוטינג האָבן פֿאַרשידענע באַדינגונגען, וואָס אַפֿעקטירן די סטרוקטורעלע אייגנשאַפֿטן און די אָפּטישע גרעב פֿון דער ערשטער שיכט, און מאַכט עס גרינגער פֿאַר דער פֿילם-שיכט צו אַראָפּנעמען פֿון סאַבסטראַט, און אַזוי ענדערן די אייגנשאַפֿטן פֿון דער פֿילם-שיכט.

–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ