1. יאָן שטראַל-געשטיצטע דעפּאָזיציע טעכנאָלאָגיע איז כאַראַקטעריזירט דורך אַ שטאַרקע אַדכיזשאַן צווישן דער מעמבראַנע און דעם סאַבסטראַט, די מעמבראַנע שיכט איז זייער שטאַרק. עקספּערימענטן ווייַזן אַז: יאָן שטראַל-געשטיצטע דעפּאָזיציע האט אַ שטאַרקע אַדכיזשאַן ווי די אַדכיזשאַן פון טערמאַל פארע דעפּאָזיציע איז געוואקסן עטלעכע מאָל ביז הונדערטער מאָל, די סיבה איז דער הויפּט רעכט צו דער רייניקונג פון דער יאָן באָמבאַרדירונג אויף דער ייבערפלאַך, אַזוי אַז די מעמבראַנע באַזע צובינד צו פאָרעם אַ גראַדיענט צובינד סטרוקטור, אָדער כייבריד יבערגאַנג שיכט, און אויך צו רעדוצירן די מעמבראַנע דרוק.
2. יאָן שטראַל-געשטיצטע דעפּאַזישאַן קען פֿאַרבעסערן די מעכאַנישע אייגנשאַפֿטן פֿון דעם פֿילם, פֿאַרלענגערן די לעבן פֿון מידקייט, זייער פּאַסיק פֿאַר דער צוגרייטונג פֿון אָקסיידן, קאַרבידן, קוביק BN, TiB2, און דימענט-ווי קאָוטינגז. למשל, אין 1Cr18Ni9Ti היץ-קעגנשטעליק שטאָל, אויף דער נוצ פֿון יאָן-שטראַל-געשטיצטע דעפּאַזישאַן טעכנאָלאָגיע צו וואַקסן 200nm Si3N4 פֿילם, ניט בלויז קען פאַרהיטן די אויפֿטרעטונג פֿון מידקייט ריסן אויף דער ייבערפֿלאַך פֿון דעם מאַטעריאַל, אָבער אויך באַדייטנד רעדוצירן די ראַטע פֿון מידקייט ריסן דיפֿוזיע, צו פֿאַרלענגערן זיין לעבן שפּילט אַ גוטע ראָלע.
3. יאָן שטראַל אַסיסטירטע דעפּאַזישאַן קען ענדערן די סטרעס נאַטור פון די פילם און זיין קריסטאַלינע סטרוקטור ענדערונגען. למשל, די צוגרייטונג פון Cr פילם מיט 11.5keV Xe + אָדער Ar + באָמבאַרדירונג פון די סאַבסטראַט ייבערפלאַך, געפונען אַז די אַדזשאַסטמאַנט פון די סאַבסטראַט טעמפּעראַטור, באָמבאַרדירונג יאָן ענערגיע, יאָנען און אַטאָמען צו דערגרייכן די פאַרהעלטעניש פון פּאַראַמעטערס, קענען מאַכן די סטרעס פון טענסיאַל סטרעס צו קאַמפּרעסיוו סטרעס, די קריסטאַלינע סטרוקטור פון די פילם וועט אויך פּראָדוצירן ענדערונגען. אונטער אַ זיכער יאָן-צו-אַטאָם אָנקומען פאַרהעלטעניש, די יאָן שטראַל אַסיסטירטע דעפּאַזישאַן האט אַ בעסער סעלעקטיוו אָריענטירונג ווי די מעמבראַן שיכט דעפּאַזיטעד דורך טערמיש פארע דעפּאַזישאַן.
4. יאָן שטראַל אַסיסטירטע דעפּאַזישאַן קען פֿאַרבעסערן די קעראָוזשאַן קעגנשטעל און אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל פון דער מעמבראַנע. צוליב דער געדיכטקייט פון דער יאָן שטראַל-אַסיסטירטער דעפּאַזישאַן פון דער פילם שיכט, פֿאַרבעסערט די פילם באַזע צובינד סטרוקטור אָדער די פאָרמירונג פון אַן אַמאָרפֿישן צושטאַנד געפֿירט דורך דעם פֿאַרשווינדן פון די קערל גרענעצן צווישן די פּאַרטיקלען, וואָס איז גינסטיק צו דער פֿאַרבעסערונג פון דער קעראָוזשאַן קעגנשטעל פון דעם מאַטעריאַל און אַנטקעגנשטעלנ זיך די אַקסאַדיישאַן פון הויך טעמפּעראַטור.
5. יאָן שטראַל אַסיסטירטע דעפּאַזישאַן קען ענדערן די עלעקטראָמאַגנעטישע אייגנשאַפטן פון דעם פילם און פֿאַרבעסערן די פאָרשטעלונג פון אָפּטישע דין פילמען.
6. יאָן-געשטיצטע דעפּאָזיציע ערלויבט פּינקטלעכע און אומאָפּהענגיקע אַדזשאַסטמענט פון די פּאַראַמעטערס פֿאַרבונדן מיט אַטאָמישע דעפּאָזיציע און יאָן אימפּלאַנטאַציע, און ערלויבט די סאַקסעסיווע דזשענעריישאַן פון קאָוטינגז פון אַ ביסל מיקראָמעטערס מיט קאָנסיסטענט קאַמפּאַזישאַן ביי נידעריקע באָמבאַרדירונג ענערגיעס, אַזוי אַז פֿאַרשידענע דין פילמען קענען וואַקסן ביי צימער טעמפּעראַטור, אַוווידינג די נעגאַטיווע יפעקס אויף מאַטעריאַלס אָדער פּרעסיסיאָן טיילן וואָס קען זיין געפֿירט דורך באַהאַנדלונג זיי ביי עלעוואַטעד טעמפּעראַטורעס.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 24סטן יאַנואַר 2024