Công nghệ phủ chân không là công nghệ phủ vật liệu màng mỏng lên bề mặt vật liệu nền trong môi trường chân không, được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực điện tử, quang học, bao bì, trang trí và các lĩnh vực khác. Thiết bị phủ chân không chủ yếu có thể chia thành các loại sau:
1. Thiết bị phủ bay hơi nhiệt: đây là phương pháp phủ chân không truyền thống nhất, bằng cách làm nóng vật liệu màng mỏng trong thuyền bay hơi, vật liệu được bốc hơi và lắng đọng lên bề mặt vật liệu nền.
2. Thiết bị phủ phun: sử dụng các ion năng lượng cao để va chạm với bề mặt vật liệu mục tiêu, các nguyên tử vật liệu mục tiêu bị phun và lắng đọng trên vật liệu nền. Phun magnetron có thể đạt được độ bám dính đồng đều và mạnh hơn của màng, thích hợp cho sản xuất hàng loạt.
3. Thiết bị lắng đọng chùm ion: Chùm ion được sử dụng để lắng đọng vật liệu màng mỏng lên chất nền. Phương pháp này có thể thu được màng rất đồng đều và phù hợp với những trường hợp yêu cầu độ chính xác cao, nhưng chi phí thiết bị cao.
4. Thiết bị lắng đọng hơi hóa học (CVD): Tạo màng mỏng trên bề mặt vật liệu nền thông qua phản ứng hóa học. Phương pháp này có thể tạo màng chất lượng cao, nhiều loại, nhưng thiết bị phức tạp và tốn kém.
5. Thiết bị Epitaxy chùm phân tử (MBE): Đây là phương pháp kiểm soát sự phát triển của màng mỏng ở cấp độ nguyên tử và chủ yếu được sử dụng để chế tạo các lớp siêu mỏng và cấu trúc nhiều lớp cho các ứng dụng bán dẫn và công nghệ nano.
6. Thiết bị lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD): Đây là kỹ thuật sử dụng plasma để tăng cường lắng đọng màng mỏng thông qua phản ứng hóa học, cho phép hình thành màng mỏng nhanh chóng ở nhiệt độ thấp hơn.
7. Thiết bị lắng đọng laser xung (PLD): Thiết bị này sử dụng các xung laser năng lượng cao để tác động vào mục tiêu, làm bay hơi vật liệu khỏi bề mặt mục tiêu và lắng đọng lên chất nền, thích hợp để tạo màng oxit phức hợp, chất lượng cao.
Mỗi thiết bị này đều có đặc điểm riêng về thiết kế và vận hành, phù hợp với các ứng dụng công nghiệp và lĩnh vực nghiên cứu khác nhau. Cùng với sự phát triển của công nghệ, công nghệ phủ chân không cũng đang tiến triển, thiết bị phủ chân không mới cũng đang xuất hiện.
– Bài viết này được phát hành bởimáy phủ chân khôngnhà sản xuất Quảng Đông Zhenhua
Thời gian đăng: 12-06-2024