Tính chất cơ học của lớp màng bị ảnh hưởng bởi độ bám dính, ứng suất, mật độ kết tụ, v.v. Từ mối quan hệ giữa vật liệu lớp màng và các yếu tố quy trình, có thể thấy rằng nếu chúng ta muốn cải thiện độ bền cơ học của lớp màng, chúng ta nên tập trung vào các thông số quy trình sau:
(1) mức độ chân không. Chân không trên hiệu suất của màng là rất rõ ràng. Hầu hết các chỉ số hiệu suất của lớp màng phụ thuộc rất nhiều vào mức độ chân không. Thông thường, khi mức độ chân không tăng lên, mật độ kết tụ màng tăng lên, độ cứng tăng lên, cấu trúc màng được cải thiện, thành phần hóa học trở nên tinh khiết, nhưng đồng thời ứng suất cũng tăng lên.
(2) Tỷ lệ lắng đọng. Cải thiện tỷ lệ lắng đọng không chỉ có thể được sử dụng để cải thiện tỷ lệ bốc hơi, tức là tăng nhiệt độ nguồn bốc hơi, cũng có thể được sử dụng để tăng diện tích nguồn bốc hơi để đạt được, nhưng việc sử dụng nguồn bốc hơi để tăng nhiệt độ của phương pháp tiếp cận có nhược điểm của nó: làm cho ứng suất lớp màng quá lớn; khí tạo màng dễ bị phân hủy. Vì vậy, đôi khi tăng diện tích nguồn bốc hơi hơn là cải thiện nhiệt độ nguồn bốc hơi có lợi hơn.
(3) nhiệt độ chất nền. Tăng nhiệt độ chất nền có lợi cho sự hấp phụ trên bề mặt chất nền của các phân tử khí còn lại để loại trừ, tăng chất nền và lực liên kết giữa các phân tử lắng đọng: đồng thời sẽ thúc đẩy quá trình chuyển đổi hấp phụ vật lý thành hấp phụ hóa học, tăng cường sự tương tác giữa các phân tử, để cấu trúc lớp màng chặt chẽ. Ví dụ, Mg, màng, chất nền làm nóng đến 250 ~ 300 ℃ có thể làm giảm ứng suất bên trong, cải thiện mật độ kết tụ, tăng độ cứng của lớp màng: chất nền làm nóng đến 120 ~ 150 ℃ đã chuẩn bị Zr03-Si02, màng nhiều lớp, độ bền cơ học của nó tăng lên rất nhiều, nhưng nhiệt độ chất nền quá cao sẽ khiến lớp màng bị hư hỏng.
(4) Sự bắn phá ion. Sự bắn phá ion có tác dụng đến sự hình thành các bề mặt có độ kết dính cao, độ nhám bề mặt, quá trình oxy hóa và mật độ kết tụ. Sự bắn phá trước khi phủ có thể làm sạch bề mặt và tăng độ bám dính; sự bắn phá sau khi phủ có thể cải thiện mật độ kết tụ của lớp màng, v.v., do đó tăng cường độ cơ học và độ cứng.
(5) Vệ sinh chất nền. Phương pháp vệ sinh chất nền không phù hợp hoặc không sạch, trong chất nền còn sót lại tạp chất hoặc chất tẩy rửa, sau đó gây ra ô nhiễm mới, trong lớp phủ có các điều kiện kết dính và độ bám dính khác nhau, ảnh hưởng đến lớp đầu tiên của các tính chất cấu trúc và độ dày quang học, nhưng cũng làm cho lớp màng dễ bong ra khỏi chất nền, do đó làm thay đổi các đặc tính của lớp màng.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 04-05-2024