Vakuumli qoplama texnologiyasi - bu elektronika, optika, qadoqlash, bezash va boshqa sohalarda keng qo'llaniladigan vakuumli muhitda substrat materiallari yuzasiga yupqa plyonkali materiallarni yotqizadigan texnologiya. Vakuumli qoplama uskunalari asosan quyidagi turlarga bo'linishi mumkin:
1. Termal bug'lanishni qoplash uskunasi: bu eng an'anaviy vakuumli qoplama usuli bo'lib, bug'lanish qayig'ida yupqa plyonkali materialni isitish orqali material bug'lanadi va substrat materialining yuzasiga yotqiziladi.
2. Sputtering qoplama uskunasi: maqsadli materialning yuzasiga urish uchun yuqori energiyali ionlar yordamida maqsadli material atomlari püskürtülür va substrat materialiga yotqiziladi. Magnetron bilan purkash plyonkaning yanada bir xil va kuchli yopishishini olishga qodir, ommaviy ishlab chiqarish uchun mos keladi.
3.Ion nurlarini joylashtirish uskunasi: Ion nurlari yupqa plyonkali materiallarni substratga joylashtirish uchun ishlatiladi. Ushbu usul juda bir xil plyonkalarni olishi mumkin va yuqori aniqlik talablari bo'lgan holatlar uchun javob beradi, ammo uskunaning narxi yuqori.
4. Kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) uskunasi: Kimyoviy reaktsiya orqali substrat materialining yuzasida nozik plyonkalar hosil qiladi. Ushbu usul yuqori sifatli, ko'p turdagi plyonkalarni tayyorlashi mumkin, ammo uskuna murakkab va qimmat.
5. Molekulyar nur epitaksisi (MBE) uskunasi: Bu atom darajasida yupqa plyonkalarning o'sishini nazorat qilish usuli bo'lib, asosan yarimo'tkazgichlar va nanotexnologiyalar uchun ultra yupqa qatlamlar va ko'p qatlamli tuzilmalarni tayyorlash uchun ishlatiladi.
6. Plazmada kengaytirilgan kimyoviy bug'larni cho'ktirish (PECVD) uskunasi: Bu past haroratlarda yupqa plyonkalarning tez shakllanishiga imkon beruvchi kimyoviy reaksiya orqali yupqa plyonkalarni cho'ktirishni kuchaytirish uchun plazmadan foydalanadigan usul.
7. Impulsli lazerli cho'kma (PLD) qurilmalari: Bular nishonga zarba berish, materialni maqsadli sirtdan bug'lash va uni substratga joylashtirish uchun yuqori energiyali lazer impulslaridan foydalanadi va yuqori sifatli, murakkab oksidli plyonkalarni etishtirish uchun javob beradi.
Ushbu qurilmalarning har biri dizayn va ekspluatatsiyada o'ziga xos xususiyatlarga ega va turli sanoat ilovalari va tadqiqot sohalari uchun javob beradi. Texnologiyaning rivojlanishi bilan vakuumli qoplama texnologiyasi ham rivojlanmoqda va yangi vakuumli qoplama uskunalari ham paydo bo'ladi.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasiishlab chiqaruvchi Guangdong Zhenhua
Yuborilgan vaqt: 2024 yil 12-iyun