1. Ion nurlari yordamida cho'kma texnologiyasi membrana va substrat o'rtasida kuchli yopishish bilan tavsiflanadi, membrana qatlami juda kuchli. Tajribalar shuni ko'rsatadiki: issiqlik bug 'cho'kmasining yopishishidan ko'ra ion nurlari yordamida yopishishning cho'kishi bir necha marta yuzlab marta oshdi, buning sababi, asosan, tozalash effektining yuzasida ion bombardimoniga bog'liq bo'lib, membrana bazasi interfeysi gradient interfasial strukturani yoki gibrid o'tish qatlamini hosil qiladi, shuningdek membrana kuchlanishini kamaytiradi.
2. Ion nurlari yordamida cho'kma plyonkaning mexanik xususiyatlarini yaxshilash, charchoq muddatini uzaytirishi mumkin, oksidlar, karbidlar, kubik BN, TiB2 va olmosga o'xshash qoplamalarni tayyorlash uchun juda mos keladi. Misol uchun, 1Cr18Ni9Ti issiqlikka bardoshli po'latdan 200nm Si3N4 plyonkasini o'stirish uchun ion nurli cho'kma texnologiyasidan foydalanish nafaqat materialning yuzasida charchoq yoriqlari paydo bo'lishiga to'sqinlik qilishi, balki charchoq yoriqlarining tarqalishi tezligini sezilarli darajada kamaytirishi mumkin, uning ishlash muddatini uzaytirish uchun yaxshi rol o'ynaydi.
3. Ion nurlari yordamida yotqizish plyonkaning kuchlanish xususiyatini o'zgartirishi va uning kristalli tuzilishi o'zgarishi mumkin. Masalan, 11,5keV Xe + yoki Ar + substrat yuzasini bombardimon qilish bilan Cr plyonkasini tayyorlash, substrat haroratini, bombardimon ion energiyasini, ionlar va atomlarni parametrlar nisbatiga erishish uchun sozlash kuchlanish kuchlanishidan siqilish kuchlanishiga olib kelishi mumkinligini aniqladi, plyonkaning kristalli tuzilishi ham o'zgarishlarga olib keladi. Ma'lum bir ion-atom kelish nisbati ostida, ion nurlari yordamida yotqizish termal bug 'birikishi bilan to'plangan membrana qatlamiga qaraganda yaxshiroq tanlangan yo'nalishga ega.
4.Ion nurlari yordamida cho'kma membrananing korroziyaga chidamliligi va oksidlanish qarshiligini oshirishi mumkin. Plyonka qatlamining ion nurlari yordamida cho'kma zichligi tufayli plyonka asosining interfeys tuzilishi yaxshilanadi yoki zarrachalar orasidagi don chegaralarining yo'qolishi natijasida yuzaga kelgan amorf holat paydo bo'ladi, bu materialning korroziyaga chidamliligini oshirishga yordam beradi va yuqori haroratning oksidlanishiga qarshilik ko'rsatadi.
5. Ion nurlari yordamida yotqizish plyonkaning elektromagnit xususiyatlarini o'zgartirishi va optik nozik plyonkalarning ish faoliyatini yaxshilashi mumkin.
6. Ion yordamida yotqizish atom yotqizish va ion implantatsiyasi bilan bog'liq parametrlarni aniq va mustaqil ravishda sozlash imkonini beradi va past bombardimon energiyasida izchil tarkibga ega bo'lgan bir necha mikrometrli qoplamalarni ketma-ket ishlab chiqarishga imkon beradi, shuning uchun turli xil yupqa plyonkalar xona haroratida o'stirilishi mumkin, bu esa materiallarga salbiy ta'sir ko'rsatishi yoki ularni aniq haroratda ishlov berish natijasida yuzaga kelishi mumkin.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Xabar vaqti: 24-yanvar-2024