جھلی کی تہہ کی مکینیکل خصوصیات چپکنے، تناؤ، جمع کثافت وغیرہ سے متاثر ہوتی ہیں۔ جھلی کی تہہ کے مواد اور عمل کے عوامل کے درمیان تعلق سے، یہ دیکھا جا سکتا ہے کہ اگر ہم جھلی کی تہہ کی میکانکی طاقت کو بہتر بنانا چاہتے ہیں، تو ہمیں مندرجہ ذیل عمل کے پیرامیٹرز پر توجہ دینی چاہیے۔
(1) ویکیوم لیول۔ فلم کی کارکردگی پر خلا بہت واضح ہے۔ فلم پرت کے زیادہ تر کارکردگی کے اشارے ویکیوم کی سطح پر بہت زیادہ منحصر ہوتے ہیں۔ عام طور پر، جیسے جیسے ویکیوم ڈگری میں اضافہ ہوتا ہے، فلم کی مجموعی کثافت میں اضافہ ہوتا ہے، مضبوطی میں اضافہ ہوتا ہے، فلم کا ڈھانچہ بہتر ہوتا ہے، کیمیائی ساخت خالص ہوجاتی ہے، لیکن ساتھ ہی تناؤ بھی بڑھ جاتا ہے۔
(2) جمع کی شرح۔ جمع کرنے کی شرح کو بہتر بنائیں نہ صرف وانپیکرن کی شرح کو بہتر بنانے کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے، یعنی بخارات کے ذریعہ درجہ حرارت کے نقطہ نظر میں اضافہ، حاصل کرنے کے لیے وانپیکرن ماخذ کے علاقے کے نقطہ نظر کو بڑھانے کے لیے بھی استعمال کیا جا سکتا ہے، لیکن اپروچ کے درجہ حرارت کو بڑھانے کے لیے بخارات کے ذریعہ کے استعمال میں اس کی خرابیاں ہیں: جھلی پرت کا تناؤ بہت بڑا ہے۔ فلم بنانے والی گیس گلنا آسان ہے۔ تو کبھی کبھی وانپیکرن ذریعہ کے علاقے کو بہتر بنانے کے مقابلے میں وانپیکرن ذریعہ درجہ حرارت میں اضافہ زیادہ سازگار ہے.
(3) سبسٹریٹ درجہ حرارت۔ سبسٹریٹ کے درجہ حرارت میں اضافہ باقی گیس کے مالیکیولز کو خارج کرنے کے لیے سبسٹریٹ سطح پر جذب کرنے کے لیے سازگار ہے، جمع شدہ مالیکیولز کے درمیان سبسٹریٹ اور بائنڈنگ فورس کو بڑھاتا ہے: ایک ہی وقت میں جسمانی جذب کو کیمیائی جذب میں تبدیل کرنے کو فروغ دے گا، ٹی ایم بی کی ساخت کے درمیان تعامل کو بڑھاتا ہے، تاکہ ٹی ایم بی کی ساخت کو مضبوط بنایا جا سکے۔ مثال کے طور پر، Mg، جھلی، سبسٹریٹ کو 250 ~ 300 ℃ تک گرم کرنا اندرونی تناؤ کو کم کر سکتا ہے، مجموعی کثافت کو بہتر بنا سکتا ہے، جھلی کی پرت کی سختی کو بڑھا سکتا ہے: سبسٹریٹ کو 120 ~ 150 ℃ تک گرم کرنا Zr03-Si02 کو تیار کر سکتا ہے، ملٹی لیئر جھلی کی وجہ سے درجہ حرارت میں بہت زیادہ اضافہ ہوتا ہے، اس کی وجہ سے ذیلی درجہ حرارت بہت زیادہ ہوتا ہے۔ جھلی پرت کی خرابی.
(4) آئن بمباری آئن بمباری کا اثر انتہائی مربوط سطحوں کی تشکیل، سطح کی کھردری، آکسیکرن اور جمع کثافت پر پڑتا ہے۔ کوٹنگ سے پہلے بمباری سطح کو صاف کر سکتی ہے اور آسنجن کو بڑھا سکتی ہے۔ کوٹنگ کے بعد بمباری فلم کی پرت کی مجموعی کثافت وغیرہ کو بہتر بنا سکتی ہے، اس طرح مکینیکل طاقت اور سختی میں اضافہ ہوتا ہے۔
(5) سبسٹریٹ کی صفائی۔ سبسٹریٹ کی صفائی کا طریقہ مناسب نہیں ہے یا صاف نہیں ہے، سبسٹریٹ کی بقایا نجاست یا صفائی کے ایجنٹ میں، پھر نئی آلودگی کا سبب بنتا ہے، مختلف ہم آہنگی کے حالات اور آسنجن کی کوٹنگ میں، ساختی خصوصیات اور نظری موٹائی کی پہلی پرت کو متاثر کرتا ہے، بلکہ فلم پرت کو سبسٹریٹ سے آنا آسان ہے، اس طرح فلم کی پرت کی خصوصیات کو تبدیل کرنا۔
-یہ مضمون کی طرف سے جاری کیا گیا ہےویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا
پوسٹ ٹائم: مئی 04-2024

