Які класифікації обладнання для вакуумного покриття?

Технологія вакуумного покриття — це технологія, яка дозволяє наносити тонкоплівкові матеріали на поверхню матеріалів-підкладок у вакуумному середовищі, що широко використовується в електроніці, оптиці, упаковці, декоруванні та інших галузях. Обладнання для вакуумного покриття можна в основному розділити на такі типи:

1. Обладнання для термічного випаровування: це найтрадиційніший метод вакуумного покриття, в якому шляхом нагрівання тонкоплівкового матеріалу у випарному човні матеріал випаровується та осаджується на поверхню матеріалу підкладки.
2. Обладнання для напилення: використання високоенергетичних іонів для потрапляння на поверхню матеріалу мішені, атоми матеріалу мішені розпилюються та осідають на матеріалі підкладки. Магнетронне напилення дозволяє отримати більш рівномірну та міцну адгезію плівки, що підходить для масового виробництва.
3. Обладнання для іонно-променевого нанесення: іонні промені використовуються для нанесення тонкоплівкових матеріалів на підкладку. Цей метод дозволяє отримувати дуже однорідні плівки та підходить для випадків з високими вимогами до точності, але вартість обладнання висока.
4. Обладнання для хімічного осадження з парової фази (CVD): Утворює тонкі плівки на поверхні матеріалу підкладки шляхом хімічної реакції. Цей метод дозволяє готувати високоякісні багатовидові плівки, але обладнання є складним та дорогим.
5. Обладнання для молекулярно-променевої епітаксії (MBE): це метод контролю росту тонких плівок на атомному рівні, який використовується переважно для отримання надтонких шарів та багатошарових структур для напівпровідникових та нанотехнологічних застосувань.
6. Обладнання для плазмохімічного осадження з парової фази (PECVD): це метод, який використовує плазму для посилення осадження тонких плівок шляхом хімічної реакції, що дозволяє швидко формувати тонкі плівки за нижчих температур.
7. Пристрої імпульсного лазерного осадження (PLD): вони використовують високоенергетичні лазерні імпульси для впливу на мішень, випаровування матеріалу з поверхні мішені та осадження його на підкладку, і підходять для вирощування високоякісних складних оксидних плівок.
Кожен із цих пристроїв має свої особливості конструкції та експлуатації і підходить для різних промислових застосувань та галузей досліджень. З розвитком технологій також розвивається технологія вакуумного покриття, а також з'являється нове обладнання для вакуумного покриття.

–Цю статтю опубліковановакуумна машина для покриттявиробник Guangdong Zhenhua