На механічні властивості мембранного шару впливають адгезія, напруження, щільність агрегації тощо. Зі взаємозв'язку між матеріалом мембранного шару та факторами процесу видно, що якщо ми хочемо покращити механічну міцність мембранного шару, нам слід зосередитися на таких параметрах процесу:
(1) Рівень вакууму. Вплив вакууму на характеристики плівки дуже очевидний. Більшість показників ефективності шару плівки дуже залежать від рівня вакууму. Зазвичай, зі збільшенням ступеня вакууму, щільність агрегації плівки збільшується, міцність збільшується, структура плівки покращується, хімічний склад стає чистішим, але водночас зростає і пружність.
(2) Швидкість осадження. Підвищення швидкості осадження може бути використане не лише для покращення швидкості випаровування, тобто для збільшення температури джерела випаровування, але й для збільшення площі джерела випаровування, але використання джерела випаровування для підвищення температури має свої недоліки: це створює занадто велике напруження мембранного шару; плівкоутворюючий газ легко розкладається. Тому іноді збільшення площі джерела випаровування є кращим рішенням, ніж покращення температури джерела випаровування.
(3) температура підкладки. Підвищення температури підкладки сприяє адсорбції молекул газу, що залишилися, на поверхні підкладки, що збільшує силу зв'язку між осадженими молекулами підкладки: водночас сприятиме перетворенню фізичної адсорбції на хімічну, посилюватиме взаємодію між молекулами, завдяки чому структура мембранного шару стає щільною. Наприклад, нагрівання підкладки Mg-мембрани до 250~300 ℃ може зменшити внутрішню напругу, покращити щільність агрегації та збільшити твердість мембранного шару: нагрівання підкладки до 120~150 ℃ для багатошарової мембрани ZrO3-SiO2 значно збільшує механічну міцність, але занадто висока температура підкладки призводить до погіршення стану мембранного шару.
(4) Іонне бомбардування. Іонне бомбардування впливає на формування висококогезивних поверхонь, шорсткість поверхні, окислення та щільність агрегації. Бомбардування перед нанесенням покриття може очистити поверхню та збільшити адгезію; бомбардування після нанесення покриття може покращити щільність агрегації шару плівки тощо, тим самим збільшуючи механічну міцність та твердість.
(5) Очищення основи. Невідповідний або нечистий метод очищення основи може призвести до залишкових домішок або мийних засобів у основі, що призведе до нових забруднень, що призведе до змін у умовах когезії та адгезії покриття, що впливає на структурні властивості та оптичну товщину першого шару, а також призводить до легкого відшаровування плівки від основи, що змінює її характеристики.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 04 травня 2024 р.