Технологія CVD-покриття має такі характеристики:
1. Процес роботи обладнання CVD є відносно простим та гнучким, і воно може виготовляти одинарні або композитні плівки та плівки зі сплавів з різними пропорціями;
2. CVD-покриття має широкий спектр застосування та може бути використане для отримання різних металевих або металевих плівкових покриттів;
3. Висока ефективність виробництва завдяки швидкості осадження від кількох мікронів до сотень мікронів за хвилину;
4. Порівняно з методом PVD, CVD має кращі дифракційні характеристики та дуже підходить для покриття підкладок складної форми, таких як канавки, покриті отвори та навіть структури з глухими отворами. Покриття може бути нанесено у вигляді плівки з хорошою щільністю. Завдяки високій температурі під час процесу формування плівки та міцній адгезії на межі розділу плівка-підкладка, шар плівки дуже міцний.
5. Пошкодження, спричинені радіацією, є відносно низьким і можуть бути інтегровані за допомогою процесів інтегральних схем МОП.
——Цю статтю опубліковано видавництвом Guangdong Zhenhuaвиробник вакуумних машин для покриття
Час публікації: 29 березня 2023 р.