1. ئىئون نۇرلۇق ياردەمچى چۆكۈش تېخنىكىسى پەردە بىلەن ئاستى بالا ئوتتۇرىسىدا كۈچلۈك يېپىشقاقلىق بىلەن ئىپادىلىنىدۇ ، پەردە قەۋىتى ئىنتايىن كۈچلۈك. تەجرىبە شۇنى ئىسپاتلىدىكى ، ئىسسىقلىق پارلىرىنىڭ چۆكۈپ كېتىشىگە قارىغاندا ئىئون نۇر ئارقىلىق ياردەم بېرىشنىڭ چۆكۈشى بىر نەچچە ھەسسە كۆپىيىپ نەچچە يۈز قېتىمغا يەتتى ، بۇنىڭ سەۋەبى ئاساسلىقى تازىلاش ئۈنۈمى يۈزىدىكى ئىئون بومبىسىنىڭ بومبا ھۇجۇمىدىن كېلىپ چىققان بولۇپ ، پەردىنىڭ ئاساسى كۆرۈنمە يۈزى ئاستا-ئاستا ئۆز-ئارا قۇرۇلما ھاسىل قىلىدۇ ياكى ئارىلاشما بېسىمنى تۆۋەنلىتىدۇ.
2. ئىئون لامپىسىنىڭ ياردىمىدە چۆكۈش فىلىمنىڭ مېخانىكىلىق خۇسۇسىيىتىنى ياخشىلاپ ، ھارغىنلىقنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتالايدۇ ، ئوكسىد ، كاربون ، كۇب BN ، TiB2 ۋە ئالماسقا ئوخشاش سىرلارنى تەييارلاشقا ئىنتايىن ماس كېلىدۇ. مەسىلەن ، 1Cr18Ni9Ti ئىسسىقلىققا چىداملىق پولاتنىڭ ئىئون نۇر ئارقىلىق ياردەمچى چۆكمە تېخنىكىسىنى ئىشلىتىپ 200nm Si3N4 پىلاستىنكىسىنى ئۆستۈرۈشىدە ، ماتېرىيال يۈزىدە ھارغىنلىق يېرىلىشنىڭ پەيدا بولۇشىنى چەكلەپلا قالماي ، يەنە ھارغىنلىقنىڭ يېرىلىش نىسبىتىنى كۆرۈنەرلىك تۆۋەنلىتىپ ، ئۆمرىنى ئۇزارتىشنىڭ ياخشى رولى بار.
3. ئىئون نۇرلۇق ياردەمچى چۆكمە فىلىمنىڭ بېسىم خاراكتېرىنى ۋە كىرىستال قۇرۇلمىسىنىڭ ئۆزگىرىشىنى ئۆزگەرتەلەيدۇ. مەسىلەن ، Cr پىلاستىنكىسىنى 11.5keV Xe + ياكى Ar + بومبا پارتىلاش ئارقىلىق يەر ئاستى يۈزىنىڭ بومبا پارتىلىشى ، يەر ئاستى تېمپېراتۇرىسىنىڭ تەڭشىلىشى ، بومبا پارتىلاش ئىئون ئېنېرگىيىسى ، ئىئون ۋە ئاتوملارنىڭ پارامېتىر نىسبىتىگە يېتىشىنىڭ بېسىمنى جىددىيلىك بېسىمىدىن پىرىسلاش بېسىمىغا ئايلاندۇرىدىغانلىقىنى بايقىدى ، فىلىمنىڭ كىرىستال قۇرۇلمىسىمۇ ئۆزگىرىش پەيدا قىلىدۇ. مەلۇم ئىئون بىلەن ئاتومنىڭ يېتىپ كېلىش نىسبىتىگە ئاساسەن ، ئىئون لامپىسىنىڭ ياردىمى چۆكمە ئىسسىقلىق پارلىرى چۆكۈپ كەتكەن پەردە قەۋىتىدىن ياخشى تاللاش يۆنىلىشىگە ئىگە.
4.ئۆڭگەچ ياردەمچى چۆكمە پەردىنىڭ چىرىشكە قارشى تۇرۇش ۋە ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ. كىنو قەۋىتىنىڭ ئىئون نۇر ياردىمىدە چۆكۈش زىچلىقى سەۋەبىدىن ، فىلىم ئاساسى كۆرۈنمە يۈزى قۇرۇلمىسىنىڭ ياخشىلىنىشى ياكى زەررىچىلەر ئارىسىدىكى دان چېگراسىنىڭ يوقىلىشىدىن كېلىپ چىققان ئامورفوس ھالىتىنىڭ شەكىللىنىشى ، بۇ ماتېرىياللارنىڭ چىرىشكە قارشى تۇرۇش كۈچىنى ئاشۇرۇشقا ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىنىڭ ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇشقا پايدىلىق.
5.
6.
–بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
يوللانغان ۋاقتى: 24-يانۋاردىن 24-يانۋارغىچە