1. Ион нуры ярдәмендә чүпләү технологиясе мембрана һәм субстрат арасында нык ябышу белән аерылып тора, мембрана катламы бик көчле. Тикшеренүләр күрсәткәнчә: җылылык парларын ябыштыруга караганда, ион нурлары ярдәмендә ябышу берничә тапкыр йөзләгән тапкыр арткан, сәбәбе нигездә чистарту эффекты өслегендә ион бомбардирасы аркасында, мембрананың төп интерфейсы градиент интерфейс структурасын, яки гибрид күчү катламын киметү өчен.
2. Ион нуры ярдәмендә фильмның механик үзлекләрен яхшырта, ару гомерен озайта ала, оксидлар, карбидлар, куб BN, TiB2 һәм бриллиант сыман каплаулар әзерләү өчен бик яраклы. Мисал өчен, 1Cr18Ni9Ti җылылыкка чыдам корыч, 200nm Si3N4 пленкасын үстерү өчен, ион-нур ярдәмендә чүлмәк технологиясен кулланып, материал өслегендә ару ярыкларының барлыкка килүен тыя алмый, шулай ук ару яракларының таралу тизлеген сизелерлек киметә, гомерен озайту өчен яхшы роль уйный.
3. Ион нуры ярдәмендә фильмның стресс табигатен һәм аның кристалл структурасы үзгәрергә мөмкин. Мәсәлән, Cr пленкасын 11.5keV Xe + яки Ar + субстрат өслеген бомбардировать итү, субстрат температурасын көйләү, бомбардировщик ион энергиясе, ионнар һәм атомнар параметрлар коэффициентына ирешү, стрессны киеренкелек стрессыннан кысу стрессына китерә ала, фильмның кристалл структурасы да үзгәрешләр китерәчәк. Билгеле бер ион-атом килү коэффициенты буенча, ион нуры ярдәмендә чокыр җылылык парлары урнаштырылган мембрана катламына караганда яхшырак сайлап алу юнәлешенә ия.
4.Ион нурлары ярдәмендә коррозиягә каршы тору һәм мембрананың оксидлашу чыдамлыгын көчәйтә ала. Фильм катламының ион нурлары ярдәмендә тыгызлыгы аркасында, кино базасы интерфейс структурасы яхшыра яки кисәкчәләр арасындагы ашлык чикләренең юкка чыгуы аркасында аморф халәте барлыкка килә, бу материалның коррозиягә каршы торышын көчәйтә һәм югары температураның оксидлашуына каршы тора.
5. Ион нуры ярдәмендә фильмның электромагнит үзлекләрен үзгәртә һәм оптик нечкә фильмнарның эшләвен яхшырта ала.
6. Ион ярдәмендә чүлмәк атом чүпләнеше һәм ион имплантациясе белән бәйле параметрларны төгәл һәм мөстәкыйль көйләргә мөмкинлек бирә, һәм түбән бомбардировщик энергиядә эзлекле составлы берничә микрометр каплауны барлыкка китерергә мөмкинлек бирә, шулай итеп төрле нечкә фильмнарны бүлмә температурасында үстереп, югары температурада эшкәртү аркасында килеп чыгарга мөмкин.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 24-2024 гыйнвар