CVD каплау технологиясе түбәндәге үзенчәлекләргә ия:
1.
2. CVD каплауның киң кулланылышы бар, һәм төрле металл яки металл пленка каплаулары әзерләү өчен кулланыла ала;
3. Берничә минуттан йөзләрчә микронга кадәр булган чүплек ставкалары аркасында югары җитештерү эффективлыгы.
4. ПВД ысулы белән чагыштырганда, CVD яхшырак дифракция эшенә ия һәм катлаулы формадагы субстратларны каплау өчен бик яраклы, мәсәлән, трюклар, капланган тишекләр, хәтта сукыр тишек структуралары. Яхшы компактлы фильмны капларга мөмкин. Фильм формалаштыру процессында югары температура, һәм кино субстрат интерфейсында нык ябышу аркасында кино катламы бик нык
5. Радиация аркасында китерелгән зыян чагыштырмача түбән һәм MOS интеграль схема процесслары белән интеграцияләнергә мөмкин.
—— Бу мәкалә Гуандун Чжэнхуа тарафыннан бастырылган, авакуум каплау машинасы җитештерүче
Пост вакыты: 29-2023 март