Vakum kaplama teknolojisi, elektronik, optik, paketleme, dekorasyon ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılan, vakum ortamında alt tabaka malzemelerinin yüzeyine ince film malzemeleri biriktiren bir teknolojidir. Vakum kaplama ekipmanları esas olarak aşağıdaki türlere ayrılabilir:
1. Termal buharlaştırma kaplama ekipmanı: Bu, en geleneksel vakum kaplama yöntemidir; buharlaştırma teknesindeki ince film malzemesinin ısıtılmasıyla, malzeme buharlaştırılır ve alt tabaka malzemesinin yüzeyine biriktirilir.
2. Püskürtme kaplama ekipmanı: hedef malzemenin yüzeyine çarpmak için yüksek enerjili iyonlar kullanılarak, hedef malzeme atomları püskürtülür ve alt tabaka malzemesine biriktirilir. Magnetron püskürtme, filmin daha düzgün ve daha güçlü yapışmasını sağlayarak seri üretime uygundur.
3. İyon demeti biriktirme ekipmanı: İyon demetleri, ince film malzemelerini alt tabaka üzerine biriktirmek için kullanılır. Bu yöntem çok düzgün filmler elde edebilir ve yüksek hassasiyet gereksinimleri olan durumlar için uygundur, ancak ekipman maliyeti yüksektir.
4. Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) Ekipmanı: Kimyasal bir reaksiyon yoluyla alt tabaka malzemesinin yüzeyinde ince filmler oluşturur. Bu yöntem yüksek kaliteli, çok türlü filmler hazırlayabilir, ancak ekipman karmaşık ve maliyetlidir.
5. Moleküler Işın Epitaksi (MBE) ekipmanı: Bu, ince filmlerin atomik düzeyde büyümesini kontrol etme yöntemidir ve esas olarak yarı iletken ve nanoteknoloji uygulamaları için ultra ince katmanların ve çok katmanlı yapıların hazırlanmasında kullanılır.
6. Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme (PECVD) ekipmanı: Bu, ince filmlerin birikimini kimyasal reaksiyonla artırmak için plazma kullanan ve daha düşük sıcaklıklarda hızlı ince film oluşumuna olanak tanıyan bir tekniktir.
7. Darbeli Lazer Biriktirme (PLD) cihazları: Bunlar, bir hedefi vurmak, hedef yüzeyinden malzemeyi buharlaştırmak ve bunu bir alt tabaka üzerine biriktirmek için yüksek enerjili lazer darbeleri kullanır ve yüksek kaliteli, karmaşık oksit filmler yetiştirmek için uygundur.
Bu cihazların her biri tasarım ve işletim açısından kendine özgü özelliklere sahiptir ve farklı endüstriyel uygulamalar ve araştırma alanları için uygundur. Teknolojinin gelişmesiyle birlikte vakum kaplama teknolojisi de ilerlemekte ve yeni vakum kaplama ekipmanları da ortaya çıkmaktadır.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesiüretici Guangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 12-Haz-2024