Membran tabakasının mekanik özellikleri yapışma, gerilim, agregasyon yoğunluğu vb. faktörlerden etkilenir. Membran tabakası malzemesi ile proses faktörleri arasındaki ilişkiden, membran tabakasının mekanik mukavemetini iyileştirmek istiyorsak aşağıdaki proses parametrelerine odaklanmamız gerektiği görülebilir:
(1) vakum seviyesi. Filmin performansındaki vakum çok açıktır. Film tabakasının performans göstergelerinin çoğu vakum seviyesine çok bağlıdır. Genellikle vakum derecesi arttıkça film agregasyon yoğunluğu artar, sertlik artar, film yapısı iyileşir, kimyasal bileşim saflaşır, ancak aynı zamanda stres de artar.
(2) Biriktirme oranı. Biriktirme oranını iyileştirmek sadece buharlaşma oranını iyileştirmek için kullanılamaz, yani buharlaşma kaynağı sıcaklığı yaklaşımını artırmak, aynı zamanda buharlaşma kaynağı alanı yaklaşımını artırmak için de kullanılabilir, ancak buharlaşma kaynağının yaklaşım sıcaklığını artırmak için kullanılmasının dezavantajları vardır: membran tabakasının gerginliğini çok büyük hale getirir; film oluşturan gazın ayrışması kolaydır. Bu nedenle bazen buharlaşma kaynağı sıcaklığını iyileştirmektense buharlaşma kaynağı alanını artırmak daha uygundur.
(3) alt tabaka sıcaklığı. Alt tabaka sıcaklığını artırmak, kalan gaz moleküllerinin alt tabaka yüzeyinde adsorpsiyona katkıda bulunur, alt tabakayı ve biriken moleküller arasındaki bağlanma kuvvetini artırır: aynı zamanda fiziksel adsorpsiyonun kimyasal adsorpsiyona dönüşümünü teşvik eder, moleküller arasındaki etkileşimi artırır, böylece membran tabakası yapısı sıkı olur. Örneğin, Mg, membran, alt tabakayı 250 ~ 300 ℃'ye ısıtmak iç gerilimi azaltabilir, agregasyon yoğunluğunu iyileştirebilir, membran tabakasının sertliğini artırabilir: alt tabakayı 120 ~ 150 ℃'ye ısıtmak Zr03-Si02 hazırladı, çok katmanlı membran, mekanik mukavemeti çok arttı, ancak alt tabaka sıcaklığı çok yüksekse membran tabakasının bozulmasına neden olur.
(4) İyon bombardımanı. İyon bombardımanı, yüksek derecede kohezyonlu yüzeylerin oluşumu, yüzey pürüzlülüğü, oksidasyon ve agregasyon yoğunluğu üzerinde etkilidir. Kaplama öncesi bombardıman, yüzeyi temizleyebilir ve yapışmayı artırabilir; kaplama sonrası bombardıman, film tabakası agregasyon yoğunluğunu vb. iyileştirebilir, böylece mekanik mukavemeti ve sertliği artırabilir.
(5) Alt tabaka temizliği. Alt tabaka temizleme yöntemi uygun değilse veya temiz değilse, alt tabakada kalan kirlilikler veya temizleme maddesi varsa, yeni kirliliğe neden olur, kaplamada farklı kohezyon koşulları ve yapışma meydana gelir, bu da ilk katmanın yapısal özelliklerini ve optik kalınlığını etkiler, aynı zamanda film tabakasının alt tabakadan kolayca ayrılmasına neden olur, böylece film tabakasının özellikleri değişir.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: May-04-2024