CVD kaplama teknolojisi aşağıdaki özelliklere sahiptir:
1. CVD ekipmanının proses çalışması nispeten basit ve esnektir ve farklı oranlarda tek veya kompozit filmler ve alaşımlı filmler hazırlayabilir;
2. CVD kaplamanın çok çeşitli uygulama alanları vardır ve çeşitli metal veya metal film kaplamalarının hazırlanmasında kullanılabilir;
3. Dakikada birkaç mikrondan yüzlerce mikrona kadar değişen biriktirme hızları sayesinde yüksek üretim verimliliği;
4. PVD yöntemiyle karşılaştırıldığında, CVD daha iyi kırınım performansına sahiptir ve oluklar, kaplanmış delikler ve hatta kör delik yapıları gibi karmaşık şekillere sahip alt tabakaları kaplamak için çok uygundur. Kaplama, iyi kompaktlığa sahip bir filme kaplanabilir. Film oluşturma işlemi sırasında yüksek sıcaklık ve film alt tabakası arayüzündeki güçlü yapışma nedeniyle, film tabakası çok sağlamdır
5. Radyasyonun neden olduğu hasar nispeten düşüktür ve MOS entegre devre prosesleriyle entegre edilebilir.
——Bu makale Guangdong Zhenhua tarafından yayınlanmıştır.vakum kaplama makinesi üreticisi
Gönderi zamanı: Mar-29-2023