Ang mga mekanikal na katangian ng layer ng lamad ay apektado ng pagdirikit, stress, density ng pagsasama-sama, atbp. Mula sa ugnayan sa pagitan ng materyal na layer ng lamad at mga kadahilanan ng proseso, makikita na kung nais nating mapabuti ang mekanikal na lakas ng layer ng lamad, dapat tayong tumuon sa mga sumusunod na parameter ng proseso:
(1) antas ng vacuum. Ang vacuum sa pagganap ng pelikula ay napakalinaw. Karamihan sa mga tagapagpahiwatig ng pagganap ng layer ng pelikula ay nakadepende sa antas ng vacuum. Karaniwan, habang tumataas ang antas ng vacuum, tumataas ang density ng pagsasama-sama ng pelikula, tumataas ang katatagan, nagpapabuti ang istraktura ng pelikula, nagiging dalisay ang komposisyon ng kemikal, ngunit sa parehong oras ay tumataas din ang stress.
(2) Rate ng deposition. Pagbutihin ang pagtitiwalag rate hindi lamang maaaring gamitin upang mapabuti ang pagsingaw rate, iyon ay, dagdagan ang pagsingaw source temperatura diskarte, ay maaari ding gamitin upang madagdagan ang pagsingaw source area diskarte upang makamit, ngunit ang paggamit ng pagsingaw source upang taasan ang temperatura ng diskarte ay may mga drawbacks nito: gawin ang stress layer ng lamad ay masyadong malaki; Ang gas na bumubuo ng pelikula ay madaling mabulok. Kaya minsan dagdagan ang pagsingaw source area kaysa upang mapabuti ang pagsingaw source temperatura ay mas kanais-nais.
(3) temperatura ng substrate. Taasan ang temperatura ng substrate ay kaaya-aya sa adsorption sa ibabaw ng substrate ng natitirang mga molekula ng gas upang ibukod, dagdagan ang substrate at ang nagbubuklod na puwersa sa pagitan ng mga idineposito na molekula: sa parehong oras ay magsusulong ng conversion ng pisikal na adsorption sa adsorption ng kemikal, mapahusay ang pakikipag-ugnayan sa pagitan ng mga molekula, upang ang istraktura ng layer ng lamad ay mahigpit. Halimbawa, Mg, lamad, substrate heating sa 250 ~ 300 ℃ ay maaaring mabawasan ang panloob na stress, mapabuti ang pagsasama-sama density, dagdagan ang katigasan ng lamad layer: substrate heating sa 120 ~ 150 ℃ inihanda Zr03-Si02, multilayer lamad, ang mekanikal lakas nito ay tumaas ng isang pulutong, ngunit ang substrate temperatura ay masyadong mataas ang magiging sanhi ng lamad layer ng pagkasira.
(4) Ion bombardment. Ang pambobomba ng ion ay may epekto sa pagbuo ng lubos na magkakaugnay na ibabaw, pagkamagaspang sa ibabaw, oksihenasyon at densidad ng pagsasama-sama. Ang pambobomba bago ang patong ay maaaring linisin ang ibabaw at dagdagan ang pagdirikit; ang pambobomba pagkatapos ng patong ay maaaring mapabuti ang density ng pagsasama-sama ng layer ng pelikula, atbp, kaya tumataas ang mekanikal na lakas at tigas.
(5) Paglilinis ng substrate. Ang paraan ng paglilinis ng substrate ay hindi angkop o hindi malinis, sa substrate ang mga natitirang impurities o ahente ng paglilinis, pagkatapos ay magdulot ng bagong polusyon, sa patong ng iba't ibang mga kondisyon ng pagkakaisa at pagdirikit, na nakakaapekto sa unang layer ng mga katangian ng istruktura at optical kapal, ngunit din gawin ang layer ng pelikula ay madaling lumabas mula sa substrate, kaya nagbabago ang mga katangian ng layer ng pelikula.
–Ang artikulong ito ay inilabas ngtagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng post: May-04-2024