Umuman, ÝHB reaksiýalary ýokary temperatura esaslanýar, şonuň üçin termiki taýdan gyjyndyrylan himiki bug çökündisi (TCVD) diýilýär. Ol, adatça, organiki däl prekursorlary ulanýar we gyzgyn diwarly we sowuk diwarly reaktorlarda amala aşyrylýar. Onuň gyzdyryş usullary radio ýygylykly (RF) gyzdyrmagy, infragyzyl şöhlelenme bilen gyzdyrmagy, garşylyk bilen gyzdyrmagy we ş.m. öz içine alýar.
Gyzgyn diwar himiki bug çökündisi
Aslynda, gyzgyn diwar himiki bug çökündi reaktory, adatça aralyk önümçilik üçin rezistiw elementler bilen gyzdyrylýan termostat peçidir. Çip gurallary bilen örtmek üçin gyzgyn diwar himiki bug çökündi önümçilik desgasynyň çyzgysy aşakdaky ýaly görkezilýär. Bu gyzgyn diwar himiki bug çökündisi TiN, TiC, TiCN we beýleki inçe plýonkalary örtüp biler. Reaktor köp sanly komponentleri saklap biljek derejede uly bolup dizaýn edilip bilner we çökündi üçin şertleri örän takyk dolandyryp bolýar. 1-nji suratda ýarymgeçiriji enjam önümçiliginiň kremniý bilen lehimlenmegi üçin epitaksial gatlak enjamy görkezilýär. Çökündi ýüzüniň bölejikler bilen hapalanmagyny azaltmak we önümçilik ýüküni ep-esli artdyrmak üçin peçdäki substrat dik ugurda ýerleşdirilýär. Ýarymgeçiriji önümçilik üçin gyzgyn diwar reaktorlary adatça pes basyşda işleýär.
Ýerleşdirilen wagty: 2022-nji ýylyň 8-nji noýabry