Adatça CVD reaksiýalary ýokary temperatura bil baglaýar, şonuň üçin termiki tolgundyrylan himiki bug çökdürmesi (TCVD) diýilýär.Adatça organiki däl prekursorlary ulanýar we gyzgyn diwarda we sowuk diwar reaktorlarynda ýerine ýetirilýär.Onuň gyzdyrylan usullaryna radio ýygylygy (RF) ýyladyş, infragyzyl şöhlelenme ýylylygy, garşylykly ýyladyş we ş.m. girýär.
Gyzgyn diwar himiki bug çöketligi
Aslynda, gyzgyn diwarly himiki buglary çökdürmek reaktory, aralyk öndürmek üçin adatça garşylykly elementler bilen gyzdyrylýan termostatik peçdir.Çip gurallary örtmek üçin gyzgyn diwarly himiki bug çökdürýän önümçilik desgasynyň çyzgysy aşakdaky ýaly görkezilýär.Bu gyzgyn diwar himiki bug çöketligi TiN, TiC, TiCN we beýleki inçe filmleri örtüp biler.Reaktor ýeterlik derejede dizaýn edilip bilner, soň bolsa köp sanly komponent saklanar we çökdürmek üçin şertleri takyk dolandyryp bolar.1-nji suratda ýarymgeçiriji enjam öndürmekde kremniniň doping üçin epitaksial gatlak enjamy görkezilýär.Peçdäki substrat, çöketligiň üstündäki bölejikler bilen hapalanmagyny azaltmak we önümçiligiň ýüklenişini ep-esli ýokarlandyrmak üçin dik tarapa ýerleşdirilýär.Ondarymgeçiriji öndürmek üçin gyzgyn diwar reaktorlary adatça pes basyşda işleýär.
Iş wagty: Noýabr-08-2022