בדרך כלל תגובות CVD מסתמכות על טמפרטורות גבוהות, ולכן נקראות שקיעת אדים כימית מעוררת תרמית (TCVD).הוא משתמש בדרך כלל במבשרים אנאורגניים ומבוצע בכורים עם קיר חם וקיר קר.שיטות החימום שלו כוללות חימום בתדר רדיו (RF), חימום קרינה אינפרא אדום, חימום התנגדות וכו'.
שקיעת אדים כימית בקיר חם
למעשה, כור אדי כימי עם קיר חם הוא תנור תרמוסטטי, המחומם בדרך כלל עם אלמנטים עמידים, לייצור לסירוגין.שרטוט של מתקן לייצור אדים כימיים עם קיר חם לציפוי כלי שבבים מוצג כדלקמן.משקע אדים כימי עם קיר חם יכול לצפות TiN, TiC, TiCN וסרטים דקים אחרים.ניתן לתכנן את הכור לגדול מספיק ואז להכיל מספר רב של רכיבים, וניתן לשלוט בתנאים בצורה מדויקת מאוד עבור השקיעה.תמונה 1 מציגה התקן שכבה אפיטקסיאלית לסימום סיליקון של ייצור התקן מוליכים למחצה.המצע בכבשן ממוקם בכיוון אנכי כדי להפחית זיהום של משטח התצהיר על ידי חלקיקים, ולהגביר מאוד את עומס הייצור.כורי קיר חמים לייצור מוליכים למחצה מופעלים בדרך כלל בלחצים נמוכים.
זמן פרסום: נובמבר-08-2022