Ko te tikanga ka whirinaki nga tauhohenga CVD ki te teitei o te mahana, no reira ka kiia ko te waiariki hikaka te waiariki kohu matū (TCVD).I te nuinga o te waa ka whakamahia nga kaitao pararopi, ka mahia i roto i nga reactors pakitara wera me te pakitara makariri.Ko ona tikanga whakamahana ko te whakamahana irirangi (RF), te whakamahana iraruke infrared, te whakamahana parenga, aha atu.
Te wera o te pakitara kohu matū waipara
Ko te tikanga, ko te reactor waipara matū wera-wera he oumu whakamaarama, he mea whakamahana ki nga huānga parenga, mo te hanga mokowhiti.Ko te tuhi i tetahi whare whakangao kohu matū wera-wera mo te paninga taputapu maramara e whakaatuhia ana e whai ake nei.Ka taea e tenei waipara matū wera te whakakakahu i te TiN, TiC, TiCN me etahi atu kiriata angiangi.Ka taea te hoahoa te reactor ki te rahi ka mau i te maha o nga waahanga, a ka taea te whakahaere i nga tikanga mo te whakatakoto.Ko te Pikitia 1 e whakaatu ana i tetahi taputapu paparanga epitaxial mo te doping silicon o te hanga taputapu semiconductor.Ko te tïpako i roto i te oumu ka whakanohoia ki te huarahi poutū hei whakaiti i te poke o te mata waipara e nga matūriki, me te tino whakanui ake i te utaina o te hanga.Ko nga reactors wera-taiepa mo te hanga semiconductor e whakahaeretia ana i nga pehanga iti.
Te wa tuku: Noema-08-2022