Умуман, реаксияҳои CVD ба ҳарорати баланд такя мекунанд, ки аз ин рӯ таҳшиншавии буғи кимиёвии бо роҳи гармӣ ангехташуда (TCVD) номида мешавад. Он одатан аз прекурсорҳои ғайриорганикӣ истифода мебарад ва дар реакторҳои девори гарм ва девори хунук анҷом дода мешавад. Усулҳои гармкунии он гармкунии басомади радиоӣ (RF), гармкунии радиатсияи инфрасурх, гармкунии муқовимат ва ғайраро дар бар мегиранд.
Буғҳои кимиёвии девори гарм
Дар асл, реактори буғгузории кимиёвии девори гарм як кӯраи термостатикӣ аст, ки одатан бо унсурҳои муқовиматӣ барои истеҳсоли фосилавӣ гарм карда мешавад. Нақшаи иншооти истеҳсоли буғгузории кимиёвии девори гарм барои пӯшонидани асбобҳои чипӣ дар зер нишон дода шудааст. Ин буғгузории кимиёвии девори гарм метавонад TiN, TiC, TiCN ва дигар плёнкаҳои тунукро пӯшонад. Реакторро метавон ба қадри кофӣ калон тарҳрезӣ кард, ки шумораи зиёди ҷузъҳоро дар бар гирад ва шароитро барои гузоштан хеле дақиқ назорат кардан мумкин аст. Расми 1 дастгоҳи қабати эпитаксиалиро барои легиркунии кремний дар истеҳсоли дастгоҳҳои нимноқил нишон медиҳад. Субстрат дар кӯра дар самти амудӣ ҷойгир карда шудааст, то ифлосшавии сатҳи гузоштан аз ҷониби зарраҳо кам карда шавад ва бори истеҳсолӣ ба таври назаррас афзоиш ёбад. Реакторҳои девори гарм барои истеҳсоли нимноқилҳо одатан дар фишорҳои паст кор мекунанд.
Вақти нашр: 08 ноябри соли 2022